您知道陽(yáng)極氧化與發(fā)藍(lán)處理的弊端嗎？

盡管表面是耐腐蝕的，但容易被刮擦。陽(yáng)極氧化過(guò)程大多不會(huì)增強(qiáng)表面硬度，鍍鉻倒是有此功效，但鉻有毒性，且易磨損、易變形、易碎裂。

1、物理氣相沉積的常見(jiàn)問(wèn)題

Duralar科技有限公司——真空沉積系統(tǒng)的制造商，希望利用物理氣相沉積開(kāi)發(fā)一套類金剛石材料的快速鍍膜系統(tǒng)。

其堅(jiān)固性與持久性都強(qiáng)于陽(yáng)極氧化與鍍鉻，并將應(yīng)用于金屬部件表面的防腐蝕、防侵蝕、防磨損等處理過(guò)程。

類似于Duralar公司的物理氣相沉積技術(shù)，在研發(fā)過(guò)程中需要不斷地測(cè)試，考慮新方案的可行性，并且時(shí)時(shí)切換氣體種類，調(diào)節(jié)流量大小，從而確保的鍍膜量。

如果您是同行，您一定不希望為每一次測(cè)試，都采購(gòu)一臺(tái)全新的真空型質(zhì)量流量控制器，也一定不能忍受每切換一次氣體，都不得不重新標(biāo)定質(zhì)量流量控制器。

Duralar公司初的氣相沉積系統(tǒng)中集成了6臺(tái)熱式質(zhì)量流量控制器，但這6臺(tái)設(shè)備無(wú)一采用特殊氣體——四甲基硅烷(簡(jiǎn)稱TMS)。

事實(shí)上，除非將系統(tǒng)停機(jī)后重新標(biāo)定質(zhì)量流量控制器，否則無(wú)法實(shí)現(xiàn)氣體切換。

2、Alicat解決方案

Duralar公司聯(lián)系了Alicat。雖然四甲基硅烷不在Alicat的標(biāo)準(zhǔn)兼容氣體列表中，但經(jīng)過(guò)一番定制化設(shè)計(jì)后，我們交付了一臺(tái)耐腐蝕、四甲基硅烷特殊標(biāo)定的質(zhì)量流量控制器。

碳素鋼通過(guò)硬如金剛石的物理氣相沉積真空鍍膜后呈黑色

Duralar公司實(shí)現(xiàn)了始終維持精密四甲基硅烷流量，無(wú)論流量滿量程還是僅為滿量程的0.5%。

因?yàn)锳licat質(zhì)量流量控制器內(nèi)置的氣體切換功能采用的算法，不僅是乘以系數(shù)K對(duì)某一點(diǎn)流量進(jìn)行補(bǔ)償，而是基于一套完整的、附有NIST粘度值的性能曲線。

Duralar公司也無(wú)需擔(dān)心工廠內(nèi)溫度或壓力的變化對(duì)精度產(chǎn)生干擾。

因?yàn)椴煌趥鹘y(tǒng)的熱式質(zhì)量流量控制器，Alicat質(zhì)量流量控制器內(nèi)的閉合回路傳感器將自動(dòng)對(duì)體積的變化進(jìn)行補(bǔ)償。

Duralar公司通過(guò)將腔體抽真空來(lái)生產(chǎn)鍍膜材料，腔體內(nèi)充入適宜流量的氣體，加入蒸汽鍍料，并將其轉(zhuǎn)化成具有附著性的漿體。

物理氣相沉積必須在真空環(huán)境下進(jìn)行，從而鍍料到達(dá)被鍍物體表面時(shí)不會(huì)被氧化。

由一臺(tái)真空泵與三臺(tái)質(zhì)量流量控制器組成的原型系統(tǒng)

之后，Duralar公司又打算開(kāi)發(fā)一項(xiàng)管道內(nèi)壁鍍層的系統(tǒng)。

管道內(nèi)壁鍍層可以減少腐蝕性液體或氣體造成的腐蝕。

Alicat解決方案將管道尾部密封以形成一真空腔體，在一狹窄的管道空間內(nèi)改變鍍料位置，完成管道內(nèi)壁鍍層。

利用一臺(tái)用于四甲基硅烷的MCS系列耐腐蝕型質(zhì)量流量控制器，及兩臺(tái)MC系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器，Duralar公司輕而易舉地實(shí)現(xiàn)了預(yù)置的98種常用氣體，還可以外加至多20種自定義氣體來(lái)任意切換。

MCS系列耐腐蝕型質(zhì)量流量控制器中標(biāo)準(zhǔn)預(yù)置氣體更是達(dá)到128種。

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3、Alicat遠(yuǎn)程控制

Duralar公司下載Alicat LabVIEW驅(qū)動(dòng)程序來(lái)構(gòu)建上述真空系統(tǒng)，通過(guò)遠(yuǎn)程電腦來(lái)控制質(zhì)量流量控制器及自己的節(jié)流閥。

終，在規(guī)定期限內(nèi)完成了此真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，并已將其投產(chǎn)。

Alicat質(zhì)量流量控制器應(yīng)用于原型系統(tǒng)的LabVIEW界面

如今，您可以為您的金屬部件鍍上類金剛石的材料，也可以訂購(gòu)一臺(tái)鍍膜系統(tǒng)開(kāi)展相關(guān)的鍍膜服務(wù)。

相比于陽(yáng)極氧化，真空鍍膜要持久耐用得多；與鍍鉻相比，則更為簡(jiǎn)易與堅(jiān)硬。

Alicat質(zhì)量流量控制器的可變與適應(yīng)性使得物理氣相沉積技術(shù)又有了新的突破。