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Alicat質量流量計的壓力控制回路特性

時間:2020/1/9閱讀:653
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在化學反應器中,我們的質量流量控制器被用來控制壓力,保證過程是可重復的。

Alicat質量流量控制器可以測量體積流量、質量流量、溫度和壓力,也可以在測量時控制壓力。

1、質量流量計的靈活性

其他的大多數質量流控制器缺乏靈活性,只允許控制質量流量。采用壓力衰減方法來執行泄漏檢查,您將使用壓力控制器來設置壓力、停止流量并等待壓力下降。

然后,您可以基于確切的氣體體積計算。如果你有一個連接Alicat質量流量計的壓力控制器,一旦壓力穩定下來,你就會立即看到泄漏率。

這也為您節省了時間和物理空間。

2、閉環壓力

閉環壓力是基于壓力而不是質量流量的反饋回路的術語。

質量流量控制器通常會測量質量流量,控制閥門,將質量流量調節到所需的水平。當控制壓力時,閥門將根據壓力測量進行調整。

例如,假設你控制著Alicat下游的壓力想要達到100 psi。如果你現在的壓力是80 psi,質量流量控制器會打開閥門,直到壓力達到你的設定值。

這在需要控制壓力和確定流量的應用中非常有有效。

3、MCD與CLP和累加器

Alicat帶有兩個閥門、閉環壓力和累加器質量流量控制器是一個雙向控制器,有三個端口(進口、過程、出口)和兩個閥門:一個帶有進口流量和另一個帶有獨立的排氣閥。

它可以控制壓力的閉合量,可以用閥門來調節流量,也可以在壓力過大的情況下排到大氣或真空泵中。累加器測量已經發生的流量。

有四種不同的方法來確定總流量使用這些雙向表:

  • 增加正流量,減去負流量,讓總流量變為負流量
  • 加正流量,減負流量,不允許總流量變為負流量
  • 增加正流量,忽略負流量
  • 正流量相加,負流量相減,達到0時復位

你會知道在任何給定的時間、特定的體積里有多少氣體,如果你想測量進入系統的氣體流量,這是很重要的。

4、使用Alicat質量流量計與轉子流量計

轉子流量計測量體積流量,它們在特定的壓力下進行調節,從而得出質量流量。

雖然它們可以標記為標準升/分鐘(slpm)或標準立方厘米/分鐘(sccm),但該讀數僅在調諧轉子流量計的壓力下有效。

另一方面,Alicat質量流量計在任何時候都是有效的,因為它有一個壓力傳感器,可以在壓力變化時調整讀數。

比較轉子流量計和Alicat質量流量計就像比較蘋果和橘子,因為它們測量的是不同的東西,除非轉子流量計處在非常特定的校準壓力下。

然而,既然我們可以用Alicat質量流量裝置來控制壓力,為什么不控制到轉子流量計調到的壓力呢?

我們通常設置轉子流量計下游的壓力,所以這只是簡單地把Alicat質量流量計放在下游,閥門在另一邊,這樣你就可以通過Alicat質量流量計和轉子流量計來控制閥門的背壓。

然后你可以同時在Alicat質量流量計和轉子流量計上直接測量流量。

當然,你必須確保Alicat質量流量計選擇轉子流量計的氣體和標準條件。它們在轉子流量計上是不可調的,但在Alicat質量流量計上是可調的。

您可以從數百種氣體中選擇,以及用戶選擇的標準溫度和壓力。

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