SF6雖無色五毒，但是大量泄露會使人呼吸困難甚至窒息，因此在工業作業的過程中對
SF6泄露監測就顯得尤為必要。在傳統的技術應用中對SF6氣體的監測方式包括氣壓表測量法和密度繼電器測量法，以及半導體測量法等，并且超聲波測量以及負電暈放電測量也是常見的SF6泄露監測方法。
其中氣壓表測量主要是對氣體壓力打開測度，然后完成SF6是否存在蛻變問題完成判別。可是考慮到在溫度改變劇烈的環境中，SF6氣體壓力會隨之有所改變，因而此種方法只有在環境溫度改變不明顯的時候才干打開有效使用，而且無法完成相關數據的自動化獲取，其測定結果通常僅供參考。
而關于密度繼電器丈量而言，其機械特點本身決定了其抗震才能等方面均不盡善盡美，因而無法完成氣體微量走漏的測定。
半導體傳感器則以二氧化錫半導體作為電極，依據其強親氟化物的特征來完成關于空氣中氣體含量的測定。此種測定方法能夠完成較高精度，而且在本錢方面也占據極大優勢，可是壽數相對有限，跟著壽數的延伸其誤報率有了明顯增高。
采用超聲波測速法打開關于SF6泄露監測的測量，是根據超聲波傳播速度隨氣體摩爾質量添加而改變這一特性。SF6氣體的摩爾質量是空氣的五倍，因而當其發生走漏的時候，會導致周圍環境介質摩爾質量的明顯上升，然后完成關于其密封狀況的判別。此種工作方法雖穩定且精度較高，因而難以完成大面積使用。
負電暈放電檢測設備通常置于電站開關柜內，是當前比較常見的SF6泄露監測設備，具有結構簡單、可靠性高的特征，且成本控制相對較簡單，十分合適大范圍在線監測。可是此種技術相對而言壽數較短，簡單造成誤報警問題的發生，可信度已經成為阻礙其進一步深入使用的主要因素。
