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山東展悅電子科技有限公司

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Setra西特217超高純壓力變送器資料

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Setra西特217超高純壓力變送器
 

Setra 217 型壓力變送器專為模塊式Block氣體棒和面板設計,非常適合惡劣環境(例如冷氣流導致的溫度瞬變下的壓力測量應用于·模塊式Block氣體棒和面板·高純度氣體輸送系統半導體過程工具。

特性
·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度 7 Ra
·1
×10-9 ATM.CC/sec 級別的氨滲漏實驗
·出色的穩定性,避免停機
·可選帶 C 型或 W 型密封的壓力端口
·抗電磁干擾 / 射頻干擾,可防止誤停機
·易于吹掃
·符合 CE RoHS 標準要求
應用
·模塊式Block氣體棒和面板
·高純度氣體輸送系統
·半導體過程工具
217 型壓力變送器可選帶 C 型或 W 型密封的朝下安裝的壓力
端口,帶有易于吹掃的小型傳感器腔室。所有接液部件均采
VIM/VAR 316L 不銹鋼制造,且表面鈍化拋光至 5 Ra(蕞
7 Ra),確保表面平整且耐化學腐蝕,實現無污染氣體輸送。
每個傳感器都采用質譜儀進行了 1 x 10-9 ATM.CC/sec 級別的
氦滲漏試驗。
217 型壓力變送器可選 5 VDC 10 VDC 4-20 mA 三種
輸出類型,并提供多種標準電氣接口。頂部外側帶有零點
和量程調整裝置,進一步體現了*設計,適合所有朝下
安裝的 UHP(超高純)壓力測量應用。 217 型同時也是
一款獲磚利的可變電容傳感器,采用 316L 不銹鋼隔膜和
絕緣電極板,可變電容在傳感器本體與電極板之間形成。
當氣體壓力提升時,隔膜會變得略圓,使電容減小。傳感
器將檢測到電容變化,并基于磚利的電荷平衡原理,通過
Setra *的定制集成電路將其轉換為高精度的線性直流
電信號。
Setra 所有的超高純系列產品都基于 Setra 成熟的電容傳
感技術制造,能提供幾乎不受 EMI/RFI 干擾的高精度、穩
定的電壓或電流輸出信號。

217型的技術規格

 

性能數據

jingRSS*(恒定溫度下)±0.25%全量程或讀數±1.0%

非線性,BFSL±0.15%全量程

滯后0.20%全量程

非重復性0.02%全量程

熱效應**

補償范圍oF()+15+150-9+65

零點漂移%FS/100oF(50)2.0(1.8)

范圍漂移%FS/100oF(50)2.0(1.8)

*非線性、非重復性和遲滯的RSS(和方根)值。

**在額定70oF下校驗過的設備。根據此數據而計算的**溫度誤差。

環境數據

溫度

工作溫度*oF()-40+185-40+85

儲存溫度oF()-40+185-40+85

*工作溫度僅是電子設備的溫度Ji限。受壓媒介的溫度可能要高或低很多。

物理描述

外殼不銹鋼

電氣連接6ft.多芯電纜,Bayonetor

D-型接頭

壓力接頭下安裝“C”密封

通風通過零點和范圍接近螺釘

重量6.5oz(184g)

電氣數據(電壓)

電路3根導線(ExcOutCom

激勵1030VDC5VFSO

1330VDC10VFSO

輸出*05VDC0.25.2VDC**

010VDC0.210.2VDC**

電流消耗<8mA

*校準精度為50Kohm負荷,可操作5000ohm或更大的負荷。

**零點輸出的出廠設置在±25mV之內(限5VDC輸出)

或±50mV(10VDC輸出)

**范圍(全量程)輸出的出廠設置在±25mV之內

(限5VDC輸出)或±50mV(10VDC輸出)

電氣數據(電流)

電路2根導線

輸出*420mA**

外部負荷0800Ohm

**電源電壓(VDC)=10+0.02x(接收器正Ji導線的電阻)。

**電源電壓(VDC)=30+0.004x(接收器正Ji導線的電阻)。

*出廠時以24VDC回路電壓和一個250ohm負荷,進行校準。

**零點輸出的出廠設置在±0.08mA之內。

**范圍(全量程)輸出的出廠設置在±0.08mA之內。

壓力媒介

316L不銹鋼相兼容的液體或氣體。

產品規格如有變更,恕不另行通知。

 

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