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影響壓力傳感器精度的原因

時間:2022/11/14閱讀:1246
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  壓力傳感器是使用最為廣泛的一種傳感器。傳統的壓力傳感器以機械結構型的器件為主,以彈性元件的形變指示壓力,但這種結構尺寸大、質量重,不能提供電學輸出。隨著半導體技術的發展,半導體壓力傳感器也應運而生。其特點是體積小、質量輕、準確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術的發展,半導體傳感器向著微型化發展,而且其功耗小、可靠性高。

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    我們在選擇壓力傳感器的時候我們要考慮他的綜合精度,而壓力傳感器的精度受哪些方面的影響呢?或者說什么原因會造成傳感器的誤差呢?其實造成傳感器誤差的因素有很多,下面我們注意說四個無法避免的誤差,這是傳感器的初始誤差。

  首先的偏移量誤差:由于壓力傳感器在整個壓力范圍內垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調節修正的變化將產生偏移量誤差。

  其次是靈敏度誤差:產生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數。該誤差的產生原因在于擴散過程的變化。

  第三是線性誤差:這是一個對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線稱重傳感器

  最后是滯后誤差:在大多數情形中,壓力傳感器的滯后誤差可以忽略不計,因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。

  壓力傳感器的這個四個誤差是無法避免的,我們只能選擇高精度的生產設備,利用高新技術來降低這些誤差,還可以在出廠的時候進行一點的誤差校準,盡最大的可能來降低誤差以滿足客戶的需要。

        成都科大勝英科技公司,是一家擁有自有知識產權的原創型研發公司,集研發、生產、銷售為一體,公司專注于先進電子技術應用于測控領域十余年,在軍工、安全工程的科研院所擁有一批忠實客戶,用自有產品組建過數百套瞬態測試系統、激光光幕測速系統。
 

        跟隨世界傳感器技術發展趨勢,順應物聯網快速發展帶來的機會,公司將嵌入式SOC片上系統與網絡通訊、模擬\數字信號處理結合,研發出基于SOC技術的高性能物聯網節點(前端)平臺。基于TCP/IP千兆MCU瞬態信號測試系統、測時測速用于多個國防重點科研項目。

        系列智能壓力/復合型傳感器,突破了高性能壓力傳感器補償、矯正等技術瓶頸,其穩定性、可靠性達到并部分指標優于國外產品,打破了國外在高精度壓力傳感器(科研)上的壟斷。成都智能傳感器專委會委員,《模型試驗中水沙測量儀器數據交互通用規約》起草人之一。




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