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MEMS壓力傳感器的原理

時間:2023/1/31閱讀:589
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MEMS技術的主要優勢有:

體積小,重量輕

量程小,小到幾個kpa的壓力

具有很高的精度

可以做出絕壓、表壓、壓差,選擇柔性高

更適合大批量和高效率的生產

MEMS產品是采用MEMS技術將感壓單元和信號處理芯片集成在一個只有幾毫米的MEMS芯片上,后期進行必要的封裝而來。MEMS產品在我們的生活中隨處可見,如電子血壓計里面的感壓單元,手機麥克風,數碼相機的光學防抖所用的陀螺儀等。

MEMS測量壓力的原理

MEMS測量壓力的原理是在感壓膜片上集成幾個MEMS壓敏電阻,這幾個壓敏電阻通過綁線實現與外部的電氣連接,并組成一個惠斯通電橋。

惠斯通電橋

當壓力作用在感壓膜片上后,產生機械應力,使得橋臂電阻發生變化,并通過外部電路將這個微小的電壓變化進行放大和處理,最終輸出正比于壓力的電壓或者數字信號。

MEMS工作原理

關于壓差傳感器的選型,需要根據應用需求的不同,主要考慮壓力量程、使用溫度、輸出信號格式、上下拉電阻、精度這五點。另外,根據不同的安裝需求,如螺栓孔的數量、壓力端口的直徑以及接插件型號等,可以選擇不同外形的壓差傳感器。


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