P32系列壓電偏轉鏡提供兩軸θx、θy的高速精密偏轉運動及Z 軸直線運動，直線運動的分辨率可達亞納米級、偏轉分辨率達亞微弧度，響應時間可達毫秒量級。

特點

• θx, θy 偏轉，Z 軸升降

• 偏轉范圍達6mrad

• 毫秒級響應時間

• 閉環定位精度高

典型應用

• 圖像處理與穩定

• 光學捕獲

• 激光掃描與光束偏轉

• 激光調諧

• 光過濾/光開關

• 光學/光束穩定

工作原理

P32壓電偏轉鏡是基于3個壓電陶瓷機構設計而成的，由三支壓電陶瓷驅動，以120°角平分放置，采用坐標變換，運動可以分不同機構之間控制。這種結構設計除了可實現平臺的傾斜，也可實現平臺Z向的直線移動，可以用于校正光學路徑長度。如下圖所示，A、B、C表示測量的3點處位移量，兩軸擺角及Z向位移的簡便計算公式分別如下。

技術參數

型號：P32

運動自由度：θx, θy, Z

θx, θy偏轉角度：5mrad@120V

θx, θy偏轉角度：6mrad@150V

Z向行程：30μm@120V

Z向行程：37.5μm@150V

傳感器類型：SGS

閉/開環偏轉分辨率：0.1/0.05μrad

閉/開環直線分辨率：1/0.5 nm

閉環線性度：0.05%F.S.

閉環重復定位精度：0.02%F.S.

空載諧振頻率：2kHz

閉/開環空載階躍時間：5/2ms

靜電容量：3.6μF/軸

材質：鋼

重量：350g

推薦控制器-E70壓電控制器

E70系列壓電控制器是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的3通道壓電陶瓷控制器。該控制器采用運放電路保證了高壓大電流的輸出能力，通過優化傳感伺服模塊從而提高了PI調節與控制的精度與穩定性，可靠的抗干擾設計保證了控制器的高頻響應速度。

E70.D3S壓電控制器采用DC24V供電、集成數字與模擬控制功能、開/閉環可選、RS-232/RS-422/USB通訊可選、集成式PZT&sensor迷你接口便于連接，外部可設定控制功能，操作簡單便捷。

技術參數

型號：E70.D3S-I2

功能：數字與模擬集成式控制器

通道數：3

模擬輸入范圍：0-10V

輸出電壓范圍：0-120V（可選 0-150V）

第三通道恒壓輸出

峰值電流：1.1A/通道

平均電流：70mA/通道

放大器帶寬：10kHz/通道

輸出電壓紋波：5mV（2.2μF）

PZT連接器：ECG.1B.314（LEMO）

控制輸入連接器：SMB

傳感器類型：SGS

Sensor輸出連接器：EPG.0B.304（LEMO）

傳感輸出紋波：10mV

通信接口：RS-232/422、USB

上位機軟件可二次開發

工作溫度范圍：0-50℃

尺 寸：168.5×134×45.5mm

重 量：1.2kg

供電電壓：24V DC1.5A(36W)

具有過流保護