為1-3維直線掃描臺。臺體采用機構放大設計原理，內置高可靠性壓電陶瓷，可以實現X、XY、XYZ大370μm 的高速掃描，大通光孔徑為Ø35mm，多種位移行程及規格型號可供選擇，適用于大行程多維掃描等應用。

特性：

• 大位移370μm

• 大承載3.5kg

• 通孔直徑：Ø35mm

1~3維掃描臺

    P18壓電掃描臺包括X/XY/XYZ三種結構形式，可以 滿足1~3維大行程掃描或定位的應用需求。

典型應用

• 閉環重復定位精度高 • 響應速度快

• 圖像處理與穩定 • 掃描顯微

• 干涉/計量 • 表面檢測

• 半導體測量 • 光學計量

大位移、大承載、高剛度、高頻響