P66A.X30為一維X向運動壓電平臺，平臺內部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，一體化結構設計。機構采用放大式驅動原理，內置高性能壓電陶瓷，可實現38μm范圍內的納米級位置調整。采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有高導向精度、高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點。平臺具有非常高的控制精度，分辨率和穩定性可達納米量級，定位穩定時間為毫秒量級。

特性

• 一維X向運動

• 行程達38μm

• 承載力達100g

• 可選閉環版本、真空版本

典型應用

• 納米級精密位置調整

• 掃描顯微

• 微操作

• 納米定位/測量

• 微加工

高動態 高精度

P66A.X30為小體積高精度運動平臺，特別為高分辨率、高動態、高定位精度應用而設計，內置高可靠性壓電陶瓷，實現納米級精度調整，特殊的結構設計使其具有非常大的剛度，空載諧振頻率達2000Hz，滿足工業上對高頻率、高精度等應用的需求。

技術參數

型號：P66A.X30

運動自由度：X

標稱行程范圍（0~120V）：30μm

行程范圍（0~150V）：38μm

閉環傳感器類型：SGS

閉/開環分辨率：10/5nm

閉環線性度：0.1%F.S.

閉環重復定位精度：0.1%F.S.

推/拉力：200/10 N

運動方向剛度：10N/μm

空載諧振頻率：2000Hz

閉/開環空載階躍時間：5/1.5ms

承載能力：100g

靜電容量：3.6μF

臺體材料：鋁

電纜長度：1.5m

推薦控制器

P66A.X30壓電納米定位臺為一維X向運動機構，可配套芯明天單通道壓電控制器，實現精密運動控制。

E01.D1

LCD，薄膜按鍵, 可達625mA

RS-232/RS-422/USB通信

軟件可二次開發

E53.D

小體積，60mA

RS-232/RS-422/USB通信

軟件可二次開發