超聲諧振驅動原理的直線與360°旋轉壓電馬達！

時間：2024-6-17 閱讀：1193

利用超聲諧振驅動原理的壓電馬達，其基本工作原理就是利用壓電材料的逆壓電效應，使其能產生超聲波頻率的機械振動，再通過摩擦驅動的結構設計，從而驅動移動臺做旋轉運動或直線運動。

超聲是一種超出人聽覺范圍外的高頻振動，因此超聲壓電馬達具有噪聲小的特點。此外，它還具有結構小，響應速度快，可斷電自鎖等優點。在精密加工測量儀器、半導體加工設備、醫療、航空航天等高技術領域應用前景廣闊。

不同壓電馬達的運動原理

芯明天超聲諧振驅動壓電馬達 超聲諧振驅動原理的直線與360°旋轉壓電馬達！

01 N59系列直線壓電馬達

產品外觀

超聲諧振驅動原理的直線與360°旋轉壓電馬達！

產品特點

• 一維X向運動

• 速度達25mm/s

• 分辨率達50nm

• 斷電自鎖

產品應用

• 光學儀器領域

• 精密儀器領域

• 醫療器械

• 微劑量注射器

• 小負載、大行程納米定位

• 科學研究

• 光纖對接

• 微細加工

• 原子力顯微鏡

• 半導體的精密定位和微納操作等

技術參數

型號	N59.9K
運動自由度	X
標稱行程范圍	9 或 ±4.5mm
速度上限	25mm/s
分辨率	50nm
負載能力	0.2kg
工作溫度	0~50℃
質量	4g
材質	鋁，不銹鋼
電纜長度	0.1m

02 N69系列旋轉壓電馬達

產品外觀

超聲諧振驅動原理的直線與360°旋轉壓電馬達！

產品特點

• 360°雙向旋轉運動

• 速度可達220rpm

• 斷電自鎖

• 真空版本可選

產品應用

• 光學儀器領域

• 精密儀器領域

• 醫療器械

• 微劑量注射器

• 半導體技術

• 圖像處理

• 納米計量

• 光學儀器設備制造

• 干涉儀等

技術參數

型號	N69.K2
運動自由度	360°雙向
最大速度	220rpm
分辨率	30μrad
扭矩	1mN·m
軸向負載力	0.2kg
工作溫度	0~50℃
質量	3.5g
材質	鋼、鋁
電纜長度	0.1m

配套控制器

E66.A2K-H1板卡式壓電控制器可控制N69系列和N59系列超聲壓電馬達，單通道開環驅動，尺寸為38mm×27mm×12mm，可外部輸入PWM信號控制，操作更便捷，小體積設計更易集成。

超聲諧振驅動原理的直線與360°旋轉壓電馬達！

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超聲諧振驅動原理的直線與360°旋轉壓電馬達！

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