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P35A.T35系列大行程壓電偏轉(zhuǎn)鏡
P35A.T35系列是一款兼具大行程、高精度、高頻率特點(diǎn)的二維運(yùn)動(dòng)壓電偏轉(zhuǎn)鏡。它可產(chǎn)生θx、θy二維偏轉(zhuǎn)，偏轉(zhuǎn)角度達(dá)±18.5mrad，空載諧振頻率達(dá)2kHz，可配置閉環(huán)傳感器，閉環(huán)重復(fù)定位精度可達(dá)0.025%F.S.。外觀采用方形的設(shè)計(jì)，在物理上實(shí)現(xiàn)空間的最l大化利用便于集成，非常適合高精度大行程角度的快速偏轉(zhuǎn)應(yīng)用。產(chǎn)品外觀如下圖所示。
產(chǎn)品特點(diǎn)
二維θx、θy偏轉(zhuǎn)
偏轉(zhuǎn)角度達(dá)±18.5mrad
空載諧振頻率2kHz
可定制
可選配閉環(huán)傳感器
產(chǎn)品應(yīng)用
P35A.T35系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡可廣泛應(yīng)用于圖像處理/穩(wěn)定、隔行掃描/抖動(dòng)、光過(guò)濾/開(kāi)關(guān)、激光掃描、光束偏轉(zhuǎn)與穩(wěn)定、掃描顯微等光學(xué)應(yīng)用。
技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | P35A.T35S/K |
| 運(yùn)動(dòng)自由度 | θx、θy |
| 驅(qū)動(dòng)控制 | 3路驅(qū)動(dòng)，2路傳感 |
| 標(biāo)稱偏轉(zhuǎn)角度（0~120V） | ±14.8mrad/軸 |
| 偏轉(zhuǎn)角度（0~150V） | ±18.5mrad/軸 |
| 傳感器類型 | SGS/- |
| 閉/開(kāi)環(huán)分辨率 | 1.2μrad/0.4μrad |
| 線性度 | 0.13%F.S./- |
| 重復(fù)定位精度 | θx0.05%F.S., θy0.025%F.S./- |
| 空載諧振頻率 | 2000Hz |
| 帶載諧振頻率 | 1800Hz（負(fù)載Φ12.7×3mm鏡片） 1100Hz（負(fù)載Φ24.5×3mm鏡片） |
| 閉環(huán)階躍時(shí)間 | 7ms@Φ12.7×3mm鏡片 8ms@Φ24.5×3mm鏡片 |
| 靜電容量 | 7.2μF/軸 |
| 材質(zhì) | 鈦合金、鋁 |
| 重量 | 155g |
配套控制器
E80.D3S-P多通道壓電控制器非常適用于驅(qū)動(dòng)P35A.T35系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡，采用模擬和數(shù)字控制，具有3個(gè)輸出通道，其中1通道輸出恒壓，非常適于差分驅(qū)動(dòng)。此外，該控制器配備有傳感信號(hào)監(jiān)測(cè)部分，可反饋體現(xiàn)壓電偏轉(zhuǎn)鏡偏轉(zhuǎn)角度的電壓信號(hào)，實(shí)現(xiàn)對(duì)偏轉(zhuǎn)鏡的高精確度控制。控制器可滿足電磁兼容試驗(yàn)（CS101、CS114、CS115、CS116、RE102、RS103）、力學(xué)沖擊試驗(yàn)（重力加速度20g）、22.6kPa低氣壓試驗(yàn)（絕對(duì)值）等諸多嚴(yán)格的環(huán)境試驗(yàn)。
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