壓電物鏡掃描器的特性說明

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壓電物鏡掃描器的特性說明

　　產(chǎn)品特性

　　外形尺寸：40x48x34.5mm，結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成，靈活的螺紋轉(zhuǎn)接器，zui大螺紋接口M28；

　　行程為100um，分辨率為0.5nm；

　　采用無摩擦高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)，快速響應(yīng)；

　　內(nèi)置高性能的壓電陶瓷，高可靠性；

　　內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)位置反饋，開/閉環(huán)可供選擇。

　　壓電物鏡掃描器是采用壓電陶瓷驅(qū)動的納米級壓電物鏡位移器，壓電物鏡位移器內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點，壓電物鏡位移器內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋，確保了壓電位移器具有的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。



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