新品推薦！芯明天閉環(huán)三維壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

時(shí)間：2023-2-9 閱讀：927

此次為大家?guī)硪豢铋]環(huán)式、三維運(yùn)動(dòng)、壓電螺釘驅(qū)動(dòng)的壓電運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。使用過壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的用戶都會(huì)了解，一般情況下，這種運(yùn)動(dòng)平臺(tái)都是開環(huán)的，沒有閉環(huán)伺服控制傳感器。但考慮到用戶在大行程運(yùn)動(dòng)控制下對(duì)高精度的要求，芯明天專門設(shè)計(jì)、研發(fā)了XYZ65N81E26壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，該平臺(tái)配備了增量式編碼器，對(duì)運(yùn)動(dòng)行程、精度等可進(jìn)行精確控制，且精度可達(dá)1.5μm。

芯明天XYZ65N81E26壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

特點(diǎn)

XYZ三維運(yùn)動(dòng)

配有閉環(huán)增量式編碼器

行程±12.5mm/軸

納米級(jí)分辨率

精度達(dá)1.5μm

運(yùn)動(dòng)原理

XYZ65N81E26壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是采用壓電螺釘驅(qū)動(dòng)，壓電螺釘?shù)倪\(yùn)動(dòng)是通過內(nèi)部壓電陶瓷的微運(yùn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)螺紋桿旋轉(zhuǎn)，從而沿著螺紋向前運(yùn)動(dòng)。螺紋桿的推動(dòng)，使得載物移動(dòng)平臺(tái)臺(tái)面的直線運(yùn)動(dòng)。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品設(shè)計(jì)的參數(shù)如下表所示。

型號(hào)	XYZ65N81E26
運(yùn)動(dòng)自由度	X
集成傳感器類型	增量式編碼器
標(biāo)稱行程范圍	±12.5mm
速度	50μm/s
閉/開環(huán)分辨率	80nm
線性度	1.5μm
重復(fù)度	1.5μm
承載能力	1.5kg
工作溫度	0~50℃
質(zhì)量（包含電纜）	2.61kg
材質(zhì)	鋁、鋼
電纜長度	1.5m
推薦控制器	E53.D1E

產(chǎn)品實(shí)測數(shù)據(jù)

下方測試結(jié)果是在1.5kg負(fù)載、28.8℃溫度、31%濕度下測得。

運(yùn)動(dòng)軸	X	Y	Z
線性度	1.253μm	1.327μm	1.157μm
重復(fù)度	1.439μm	0.275μm	1.134μm
分辨率	80nm	80nm	80nm
運(yùn)行速度	55.30μm/s	64.62μm/s	54.50μm/s

從測試結(jié)果中可看出，X、Y、Z三個(gè)方向的定位精度均可達(dá)到1.5μm以內(nèi)。運(yùn)動(dòng)效果如下視頻所示。

注：視頻60倍率播放。

可定制參數(shù)、可定制真空版本

芯明天可根據(jù)用戶的參數(shù)要求定制壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，自由選擇一至三維運(yùn)動(dòng)版本，自由選配增量式編碼器。此外，可定制真空兼容版本，真空度可達(dá)10^-6mbar以上。

應(yīng) 用

XYZ65N81E26壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是三維直線運(yùn)動(dòng)版本，因其大行程及高精度的特點(diǎn)，非常適用于半導(dǎo)體測試、晶圓檢測、納米壓印、納米計(jì)量、工業(yè)精密定位等領(lǐng)域。

配套控制器

XYZ65N81E26壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)采用芯明天自研生產(chǎn)的E53.D1E壓電伺服控制器，可通過串口與上位機(jī)進(jìn)行連接通信，通過上位機(jī)軟件，對(duì)壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)的控制，可設(shè)置運(yùn)動(dòng)速度等參數(shù)。