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P12A.XY200Z100 系列放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái)
P12A.XY200Z100 系列放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái) 產(chǎn)品特點(diǎn): 全閉環(huán),高精度; XYZ 三維運(yùn)動(dòng); 行程可達(dá) X200/Y200/Z100μm; 中心方形通孔 45×45mm; 真空版本可選;