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質量流量計,即MassFlowMeter(縮寫為MFM),是一種測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準,不需要溫度壓力補償。
質量流量控制器,即MassFlowController(縮寫為MFC),不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩流裝置,是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩流裝置。
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