電子級(jí)磷酸屬于高純磷酸，廣泛用于大規(guī)模集成電路、薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)等微電子工 業(yè)，主要用于芯片的清洗和蝕刻，其純度和潔凈度對(duì)電子元器件的成品率、電性能及可靠性 有很大影響，純度較低的主要用于液晶面板部件的清洗(面板級(jí))，純度高的用于電子晶片 生產(chǎn)過(guò)程的清洗和濁刻(稱為IC 級(jí))。電子級(jí)磷酸還可用于制備高純磷酸鹽，也是高純有機(jī) 磷產(chǎn)品的主要原料，另外還可用作超高純?cè)噭┖凸饫w玻璃原料等。

產(chǎn)業(yè)鏈 制作工藝 電子級(jí)磷酸可由元素磷或磷的氧化物經(jīng)化學(xué)反應(yīng)得到，也可由成品磷酸凈化精制而得，制備 的關(guān)鍵在于控制并達(dá)到所要求的堿金屬與重金屬雜質(zhì)離子的含量和顆粒度。

目前有如下幾種主要制備工藝:

1)用高純磷制備電子級(jí)磷酸;

2)用高純?nèi)齃Vhualin制備電子 級(jí)磷酸;

3)用三氯氧磷制備電子級(jí)磷酸。

提純工藝主要有:

1)磷酸的凈化精制法;

2)有機(jī)溶劑萃取法;

3)冷凍結(jié)晶法;熔融結(jié) 晶法;

4)其他凈化法其他的凈化方法有電滲析:電滲析法;膜分離。

E-Scan系列電子級(jí)磷酸濃度分析儀采用臨界角檢測(cè)原理，檢測(cè)不受物料的顏色，渾濁度，氣泡，固體顆粒等雜質(zhì)的影響、具備高精度的自動(dòng)溫度補(bǔ)償功能。采用優(yōu)秀的分體式體式，全屏蔽抗干擾設(shè)計(jì)，光電信號(hào)直接轉(zhuǎn)換處理。摒棄一體式不耐振動(dòng)和高溫的影響的缺點(diǎn)，保障了在線測(cè)量的精度及延長(zhǎng)儀器使用壽命。內(nèi)置光纖光路傳導(dǎo)系統(tǒng)，擁有優(yōu)秀的抗震性能和高穩(wěn)定性、內(nèi)置溫度傳感器和干燥劑有效監(jiān)測(cè)糖度儀的運(yùn)行狀態(tài)。

E-Scan系列電子級(jí)磷酸濃度分析儀可以安裝在不同管徑的管道或者罐體容器壁上，進(jìn)行濃度監(jiān)測(cè)和控制，可以直接顯示質(zhì)量*（Percent)、固形物含量(S.G.)、密度(T.T.A)或用戶自定義的單位，現(xiàn)場(chǎng)顯示并可以模擬信號(hào)（RS232)遠(yuǎn)傳至電腦進(jìn)行即時(shí)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、打印、追溯等功能；通過(guò)4-20mA信號(hào)遠(yuǎn)傳至PLC/DCS /變頻器進(jìn)行監(jiān)控或控制。

E-Scan系列電子級(jí)磷酸濃度分析儀擁有以下特征： PTFE材質(zhì)的傳感器使其滿足化工、半導(dǎo)體行業(yè)的要求并且耐溫高達(dá)150℃； 免維護(hù)、無(wú)耗材、無(wú)漂移、自診斷功能，智能報(bào)警信號(hào)輸出功能； 防護(hù)等級(jí)：NEMA4X(IP67）； 自動(dòng)溫度補(bǔ)償（軟件擁有豐富的產(chǎn)品線性數(shù)據(jù)庫(kù)和溫度補(bǔ)償數(shù)據(jù)庫(kù)）； 多組4-20mA模擬信號(hào)及數(shù)字信號(hào)輸出（隔離，非隔離可選）； 3648高分辨率的CCD； 多種報(bào)警信息輸出顯示（高低/高高/低低/偏差）； 可循環(huán)的干燥劑，無(wú)耗材，免維護(hù)； 光源為589 nml LED燈，壽命長(zhǎng)達(dá)100000小時(shí)； 安裝適配器標(biāo)準(zhǔn):PTFE,Teflon； 高精度，高品質(zhì)、“美國(guó)制造”。