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自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀/橢圓偏振測(cè)厚儀/測(cè)厚儀 型號(hào)：DP-TPY-2
自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀/橢圓偏振測(cè)厚儀/測(cè)厚儀產(chǎn)品點(diǎn)：
儀器采用消光法自動(dòng)測(cè)量薄膜厚度和折射率，具有精度、靈敏度以及自動(dòng)控制等點(diǎn)。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長(zhǎng)精度。
儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。
自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀/橢圓偏振測(cè)厚儀/測(cè)厚儀規(guī)格與主要指標(biāo)：
測(cè)量范圍：薄膜厚度范圍1nm-4000nm 折射率范圍：1-10
測(cè)量Z小示值：≤1nm 入射角：20°- 90°精度≤0.05°
度盤刻度：每格1度 允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
偏振器步角：0.014°/步 偏振器方位角范圍：0°- 180°
測(cè)量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為：0.5nm和0.005
儀器測(cè)量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時(shí)）
光學(xué)中心度：80mm
自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀/橢圓偏振測(cè)厚儀/測(cè)厚儀成套性：主機(jī)、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件（需配計(jì)算機(jī)）
主機(jī)重量：26kg 外形尺寸：680*390*310mm
裝箱單
序號(hào) | 名 稱 | 規(guī)格或型號(hào) | 數(shù)量 | 備 注 |
1 | 自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀主機(jī) | DP-TPY-2 | 1臺(tái) |
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2 | 主機(jī)電控箱 | DP-TPY-2 | 1臺(tái) |
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3 | Q9連接線 |
| 1根 |
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4 | 數(shù)據(jù)連接線 |
| 1根 |
|
5 | 電源線 |
| 2根 |
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6 | 15線連接電纜 |
| 1根 |
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7 | USB連接電纜 |
| 1根 |
|
8 | 二氧化硅膜樣片 |
| 1張 |
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９ | 軟件安裝盤 | DP-TPY-2 | 1張 |
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10 | 使用說明書 | DP-TPY-2 | 1份 |
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11 | 裝箱單 | DP-TPY-2 | 1份 |
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12 | 產(chǎn)品合格證 | DP-TPY-2 | 1份 |
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