网红主播精品视频在线观看_草久在线播放_免费人成在线观看成人片_国产高清乱子精品偷伦对白_国产无遮挡色视频免费观看性色_亚洲精品色婷婷在线影院

泰州市雙華儀表有限公司
中級會員 | 第12年

18852652008

熱電偶測溫儀
B型熱電偶
N型熱電偶
補償導線
工業熱電偶
鉑銠熱電偶
工業爐常用的熱電偶
熱電阻
鋼廠溶液溫度測溫儀
紅外線測溫儀
溫度儀表
變送器
快速熱電偶配件
分析儀
壓力表
記錄儀

微壓傳感器的工作原理是什么?

時間:2016-12-20閱讀:1809
分享:

微壓傳感器的工作原理是什么?

微壓傳感器在測量過程中,壓力直接作用在傳感器的膜片上,使膜片產生與介質壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻發生變化,同時通過電子線路檢測這一變化,并轉換輸出一個對應于這個壓力的標準信號,這樣的過程就是微壓傳感器進行測量的過程。

對于微壓傳感器來說,靈敏度和線性度是微壓力傳感器zui重要的兩個性能指標。為了制作出能夠滿足實際應用需求的傳感器,必需探索出一種微壓力傳感器靈敏度和線性度的有效仿真方法。實際的研究中,發現一種基于對壓阻式壓力傳感器薄膜表面應力的有限元分析(FEA)和路徑積分的仿真方法。通過這一方法實現了在滿量程范圍內不同壓力值下對傳感器電壓輸出值的估計,在此基礎上對壓力傳感器的靈敏度和線性度進行了有效仿真。

微壓傳感器發展迅速,新研制出的一類傳感器采用壓電單晶片結構,并內置前置放大器,通過放大器放大微弱信號并實現阻抗變換,從而使傳感器具有量程小、靈敏度高、抗干擾性好等特點。這類傳感器已廣泛用于脈搏、管壁壓力波動等微小信號的檢測。但與此同時,對于微壓傳感器度的檢驗這一技術難題,就迫切需要簡便的測量裝置測量該類型傳感器的性能。

為了解決微壓力傳感器靈敏度和非線性的矛盾,在結構上,綜合梁膜結構與平膜雙島結構的優點,采用雙島-梁結構。島區的面積不是按比例放大或縮小。首先,為了增加靈敏度,應盡可能減小窄梁區的長度和寬度。因為從對“梁-膜-島”結構的有限元分析和近似解析分析中發現,減小窄梁區的長度和寬度可以明顯地使梁上的應力增大。并且當中間窄梁的長度約為兩邊窄梁長度的2倍時,器件的線性度。雖然有雙島限位結構,但在高過載情況下,硅膜將首先從島的邊區和角區破裂。這是因為傳統的島膜結構都是采用常規的有掩模的各向異性濕法腐蝕,從硅片背面形成硅膜和背島。硅膜是晶面,邊框和背大島側面都是晶面,夾角為54.74°的銳角。根據力學原理,在角區存在應力集中效應,使硅膜在正面或背面受壓以后,角區會具有應力的極值,因此破裂首先從該處發生。引入應力勻散結構以后,使角區變成具有一定曲率的圓角區,使該區的應力極值下降。在硅膜與邊框或背島的交界處要形成有一定曲率半經的緩變結構,采用一般的常規各向異性濕法腐蝕是無法實現的。為此,采用了掩模-無掩模各向異性濕法腐蝕技術。

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標簽最多10個字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復您~
在線留言
主站蜘蛛池模板: 国产又黄又爽又色的免费视频白丝 | 欧美乱码卡一卡二卡四卡免费 | 日本无码全黄二区三区大片免费看 | 3atv精品不卡视频 | 欧美老妇大p毛茸茸 | 欧美黄色xxx | 国语自产视频在线不卡 | 自拍视频网站 | 国产一区 | 在线中文日韩 | 亚洲综合久久成人AV | 嫩草俱乐部 | 久久精品噜噜噜成人 | 91精品国产综合久久久欧美 | 国产伦精品一区二区三区视频我 | 精品一区二区免费视频视频 | 91无码视频在线观看 | 精品视频一区二区三区四区 | 91大神在线影院 | 麻豆av影院 | 久久国产欧美日韩精品 | 99久久国产精品一区二区三区 | 亚洲不卡一卡2卡三卡4卡5卡 | 午夜性色福利在线视频18观看 | 毛片内射久久久一区 | 色欧美在线视频 | 成人va视频 | JVID亚洲精品无圣光图套 | 毛毛毛毛毛毛毛片123 | 人妻少妇波多野结衣黑人 | 九九视频69精品视频秋欲浓 | 吃奶呻吟打开双腿做受视频 | 久操国产精品 | 轻轻草在线视频 | 久久精品久久精品久久 | 网站av免费 | 一级av黄色毛片 | 精品国产乱码久久久 | 潘金莲一级淫片aaa 99久久国产免费 | 亚洲国产理论片在线播放 | 天天摸夜夜摸夜夜狠狠摸 |