質量流量控制器可以用于控制所有各種氣體，包括腐蝕性氣體和特殊氣體，但是要注意，對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體，需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時，需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體，以免因為選型或選擇密封材料錯誤，造成嚴重損失。通常質量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等，密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。質量流量控制器采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體，包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。
質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥門和放大控制器等部分組成。質量流量控制器傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源,數字電壓表, 設定電位器, 外設、內設轉換和三位閥控開關等。
質量流量控制器一般指自控式流量控制閥，是一種直觀簡便的流量調節控制裝置，管網中應用自控式流量控制閥可直接根據設計來設定流量，閥門可在水作用下，自動消除管線的剩余壓頭及壓力波動所引起的流量偏差，無論系統壓力怎樣變化均保持設定流量不變，質量流量控制器該閥這些功能使管網流量調節一次完成，把調網工作變為簡單的流量分配，有效的解決管網的水力失調。
質量流量控制器是一種無須溫度、壓力補償就能方便而且準確地監測在管道中流動的空氣、氮氣、氫氣、氧氣、天然氣、煙道氣、沼氣和其它各種氣體質量流量的新型流量計量、監控儀表。由于質量流量控制器結構型式的多樣靈活，可滿足使用現場的不同需求。使zui困難的大管徑、低流速的流量測量變得簡單了。如配以不斷流裝拆裝置，則可使用戶在不停氣的工況下方便而又放心地裝拆質量流量控制器，因此質量流量控制器的維修或傳感探頭的清洗就變得輕而易舉了。
質量流量控制器采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優良、可靠性高的技術。其典型傳感元件包括兩個熱電阻(鉑RTD)，一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD被置于介質中時，其中速度傳感器被加熱到環境溫度以上的一個恒定的溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。流經速度傳感器的氣體質量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速增加，介質帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過質量流量控制器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質的流速成正比。
質量流量控制器是利用熱傳導原理測量流體流量的儀表，質量流量控制器采用恒溫差法對氣體質量流量進行準確測量。質量流量控制器具有體積小，數字化程度高，安裝方便，測量準確等優點。質量流量控制器可用于石油、化工、電力、輕工、食品、紡織、醫藥、電子和環保等工業部門的空氣、烴類氣體、可燃性氣體、煙道氣等氣體的質量流量或實際工況的體積流量測量和監控。
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