隨著電力行業的迅猛發展，電力行業基礎建設和設備的投入，尤其是SF6電器設備的不斷增加，對SF6電氣設備在安裝調試、檢修維護的要求越來越高，相關部門對SF6電器設備(尤其是GIS)施工及檢修過程中的抽真空和回充補氣提出更高的質量和時間要求。
SF6抽真空充氣裝置主要用于瓷柱式SF6斷路器、互感器及其它SF6電器的安裝、運行、維護時抽真空、真空度測定等。這是一種緊湊的SF6氣體充氣抽氣裝置，整個充氣和抽真空裝置裝在一個非常堅固的金屬車架上，即使在碎石路面也能行走自如。
SF6抽真空充氣裝置使用方法：
1、本裝置采用三相380V電源中線不是必須的但電源線中的接地線必須可靠接地。電氣系統設置有相序保護裝置，三相電源相序可通過手動開關直接調整電氣系統，同時具有缺相保護功能，可有效避免真空泵的反向運轉以及所有主機的缺相運行。
2、仔細檢查被抽設備確定被抽設備內壓力不大于零表壓。
3、接上電源用軟管將裝置和被抽設備聯接在接口填入尼龍密封墊圈并緊固。
4、關閉所有閥門在開機前必須首先關閉所有閥門。
5、打開總電源開關紅燈亮。若紅燈不亮說明相序反相可調整相序轉換開關。電源接通后按電氣箱上綠色按鈕即開真空泵。觀察真空泵油位油位在油標2/3附近，則可投入運行，如油位過低，可停泵加油至油標2/3處。如過高而有顯著噴油可停泵放油至油標2/3處。
6、打開總閥門然后根據不同抽氣管路可逐個打開該管路上閥門即對該路抽真空。
7、真空計使用：
(1)在用真空計觀測真空度之前，須確認管路系統及待觀測真空度之容器處于負壓狀態，否則易造成真空計傳感器真空規管的損壞。
(2)打開真空計電源開關，指示燈亮。
(3)打開真空規管測量閥。然后可觀測系統真空度。
(4)測量結束時，切記關閉真空規管測量閥及真空計電源開關。
8、充氣過程即為從氣體鋼瓶經軟管連接至各所需充氣單元。可根據不同單元選擇不同球閥開啟后直接充氣用戶需在鋼瓶后配置減壓器。
9、關機
(1)關閉所有球閥及真空規管測量閥。
(2)關閉真空計電源開關。
(3)按電器箱上紅色按鈕關真空泵再關閉總電源開關。
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