氦氣檢漏儀時候氦質譜檢漏儀的俗稱，運用質譜原理制成的儀器稱為質譜計或質譜儀。質譜儀通過其核心部件質譜室，使不同質量的氣體變成離子并在某種場中運動后，不同質荷比的離子在場中彼此分開，而相同質荷比的離子在場中匯聚在一起，如果在適當位置安置接收器接收所有這些離子，就會得到按照質荷比大小依次分開排列的質譜圖，這就是質譜。

       用于檢漏的質譜儀稱為質譜檢漏儀。測量氣體分壓力的所有質譜計，如四極質譜計、射頻質譜計、飛行時間質譜計、回旋質譜計等都可以用于檢漏。

       專門設計的以氦氣作示蹤氣體進行檢漏的質譜儀稱為氦質譜檢漏儀。這種儀器除靈敏度高外，還具有適應范圍廣、定位定量準確、無毒、安全、反應速度快等優點。氦質譜檢漏儀中用得多的是90°和180°的磁偏轉型質譜儀。

氦質譜檢漏儀系統中質譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

      1、氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量極少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應出來，靈敏度高。

      2、氦的質量小（相對分子質量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發現，靈敏度高。

       3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學反應，不會污染被檢件，使用安全。

       4、在氦兩側的是氫（質荷比為2）和雙電荷原子碳（質荷比為6），質荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉半徑相差也大，容易分開，定標找氦峰時，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。

       5、氦在被檢件及真空系統中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續進行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

       6.氫氣有些性能（如質量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易爆危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產生大量的碳和氫，使氫本底*且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。