网红主播精品视频在线观看_草久在线播放_免费人成在线观看成人片_国产高清乱子精品偷伦对白_国产无遮挡色视频免费观看性色_亚洲精品色婷婷在线影院

產品推薦:水表|流量計|壓力變送器|熱電偶|液位計|冷熱沖擊試驗箱|水質分析|光譜儀|試驗機|試驗箱


儀表網>技術中心>技術交流>正文

歡迎聯系我

有什么可以幫您? 在線咨詢

芯明天壓電宏微復合運動平臺 - 毫米行程、納米精度

來源:哈爾濱芯明天科技有限公司   2022年07月06日 13:27  
傳統的絲杠導軌運動平臺以其耐用可靠的特點廣泛的應用于工業生產、科研技術之中,然而隨著工業技術的提升以及科研的進步,宏動行程低精度的運動平臺已無法滿足越來越高精度的使用要求,宏動行程高精度調節的產品與方案應運而生 - 壓電驅動宏微復合機構。


壓電驅動宏微復合的技術方案,解決了其要求行程大、定位精度高等技術難題,同時還具備了體積小、響應速度快、出力大等技術優勢。
芯明天壓電宏微復合機構是手動調節與電壓調節相結合的超精密定位臺。控制結構分為兩部分,一部分為手動調節臺,通過千分尺進行調節;另一部分為壓電納米定位臺,內部由壓電陶瓷驅動,通過施加電壓來控制。在粗調機構中,可調整的直線運動行程為mm級,分辨率為10μm。在精調機構中,可調整的直線運動行程可達幾十~幾百μm級,分辨率為nm級。通過兩種調節方式結合來達到毫米級行程、納米級定位精度。




組成結構


圖片


壓電宏微復合平臺是將壓電平臺與手調或其他電動平移臺相結合,且該結合不會損失壓電平臺的高分辨率。利用手調千分尺的壓電宏微復合平臺,一般手調行程為13mm,且它的分辨率達10μm,在壓電平臺精調行程范圍內。在手動進行粗調后,再利用壓電平臺進行納米級的精調。
芯明天標準的壓電宏微復合機構是在手調千分尺的基礎上集成壓電微動運動平臺,并配以軌道載物臺面,手調千分尺可進行13mm行程的宏觀調節,壓電運動平臺可進行25μm、100μm或250μm行程的納米級微觀調節,既保證毫米級行程范圍,又保證了調節的高精度及便捷性。




特點
宏動行程13mm,分辨率達10µm
壓電精調行程25µm、100µm或250µm
分辨率達0.5nm
壓電調節可選配閉環傳感器




壓電宏微復合平臺(無載物移動臺面)
無載物移動臺面的壓電宏微復合平臺的功能類似于一個直線促動器,該促動器具有千分尺直線粗調,同時配有壓電直線納米級精調。用戶可將其集成到自有的結構系統中,作為促動器使用。
無載物移動臺面的壓電宏微復合平臺不可直接進行組維,但可選擇多個進行配合使用。

壓電宏微復合臺(無移動臺面)



圖片

13mm千分尺行程

壓電行程可選25μm、100μm、250μm

納米至亞納米級分辨率

可選配傳感器


壓電宏微復合平臺(配備載物移動臺面)
配備載物移動臺面的壓電宏微復合平臺提供了負載的機械安裝接口,在移動臺面上配備有多種安裝螺紋孔。
多個該壓電宏微復合平臺可進行組合,以組成二維或三維粗精調運動平臺。
 

壓電宏微復合臺(配備移動臺面)



圖片

13mm千分尺行程

壓電行程可選25μm、100μm、250μm

納米至亞納米級分辨率

提供負載機械安裝接口

可選配傳感器



多維組合壓電宏微復合平臺
壓電宏微復合平臺的運動自由度在1至3維間自由選擇。下圖中為精調25μm行程的二維壓電宏微復合平臺,以及行程為100μm的三維壓電宏微復合平臺。
組合式宏微復合平臺非常適用于多維大行程、高精度的定位,例如光纖對準、光路對準等。


圖片



壓電宏微復合平臺技術參數


圖片



移動臺面參數



圖片

平直度:<3µm/13mm

導軌:交叉滾柱導軌

臺面尺寸:65mm×65mm



真空兼容版
對于真空環境應用,芯明天選用真空兼容組件,形成真空兼容的壓電宏微復合平臺,如下圖所示,左側為精調250μm的真空版XY二維壓電宏微復合平臺,右側為精調行程250μm的三維真空版本。


圖片



緊湊型三維壓電宏微復合平臺
對于系統應用空間非常受限的環境,芯明天也可提供緊湊型三維壓電宏微復合平臺,該類平臺的多維版本具有更緊湊的外形尺寸。此外,該運動平臺采用的千分尺具有兩級調節,可先進行5mm范圍內的粗調,再進行0.2mm范圍內的精調。最后是納米級精度的壓電精調,壓電精調行程為18μm。

緊湊型壓電宏微復合臺



圖片

5mm千分尺粗調行程

0.2mm千分尺精調行程

18μm壓電行程

納米至亞納米級分辨率

 
應用案例
下方左圖:光學對準 - 帶載壓電偏轉鏡進行光學路徑調節
下方右圖:納米光刻 - 帶載樣品做XY二維粗精位置調節


圖片



壓電螺釘運動平臺
除上述類型的壓電宏微復合平臺外,芯明天也可提供壓電螺釘馬達驅動的運動平臺,可簡單的理解為,將上述壓電宏微復合平臺中的千分尺替換為壓電螺釘。該類平臺不僅運動行程大(可達26mm),定位精度也非常高,直線步長可小于20nm。


圖片


免責聲明

  • 凡本網注明“來源:儀表網”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-儀表網合法擁有版權或有權使用的作品,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明“來源:儀表網”。違反上述聲明者,本網將追究其相關法律責任。
  • 本網轉載并注明自其它來源(非儀表網)的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點或和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時,必須保留本網注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
  • 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發表之日起一周內與本網聯系,否則視為放棄相關權利。
聯系我們

客服熱線: 13199863987

加盟熱線: 13199863987

媒體合作: 0571-87759945

投訴熱線: 0571-87759942

關注我們
  • 下載儀表站APP

  • Ybzhan手機版

  • Ybzhan公眾號

  • Ybzhan小程序

企業未開通此功能
詳詢客服 : 0571-87759942
主站蜘蛛池模板: 国产经典一区二区三区 | 韩日av在线免费观看 | 国产福利酱国产一区二区 | 偷拍亚洲色图 | 绯色av一区二区 | 欧美人禽交zozozo视频 | 亚洲AV成人精品日韩一区 | 超碰av网站 | 在线观看一区不卡 | 一区二区三区国产精华 | 久久精品在线视频 | 欧美一级特黄aaaaaaa什 | 91小视频在线 | 国产亚洲色欲色一色WWW | 50岁退休熟女露脸高潮 | 亚洲色无码专线精品观看 | 国产午夜福利片 | 成人爽a毛片在线视频 | 高清重口变态sm在线观看 | 国产精品美脚玉足脚交欧美 | 丰满少妇人妻久久久久久 | 日本一区2区 | 亚洲国产精品成人久久综合一区 | 亚洲AV无码日韩AV无码网址 | 婷婷久久综合九色综合97最多收藏 | 日本1区2区3区视频 特级婬片国产高清视频 | 日韩国产精品视频二区 | 国产午夜福利伦理300 | 丝袜+亚洲+另类+欧美+变态 | 东北老夫妇啪啪嗷嗷叫 | 亚洲人成网站在小说 | 国产免看一级一片免费20岁 | 国产精品高清视亚洲乱码 | 久久久久久久婷婷 | 性做久久久久久免费观看欧美 | 精品国产区一区二区三区在线观看 | 国产人妻精品一区二区三区不卡 | 少妇无码一晚三次 | 人人擦人人干 | 天堂色播| sese成人网|