質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節閥門，閥門能使通過控制器的流量從零調節到測量的滿量程，在工作的過程當中，控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降，即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1～0.5MPa，若壓差低于.低值(0.1MPa)，有可能控制達不到滿量程值;若高于.高值(0.5MPa)，有可能關閉時流量不能小于設定值。用戶使用MFC時，無論用戶工作的反應室是真空還是高壓，應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內，并且要求氣壓要相對穩定。質量流量計，即Mass Flow Meter(縮寫為MFM),是一種..測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。

質量流量控制器, 即Mass Flow Controller(縮寫為MFC),不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩流裝置,是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩流裝置。要特別注意工作介質的氣壓，應注意使本產品進出氣口兩端的工作壓差保持在指標范圍之內。工作壓差不在規定的范圍內，流量將無法關閉或調小。在使用大流量的質量流量控制器時，要注意適當加粗管道和減小氣源內阻，若工作壓差小于要求值，有可能流量達不到滿量程值。

質量流量計，即為Mass Flow Meter（縮寫為MFM），只能檢測氣體的瞬時流量，不能自動控制氣體流量。工作時無需考慮工作壓差的問題。