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半導(dǎo)體行業(yè)在線(xiàn)解決方案

來(lái)源:蘇州諾達(dá)凈化科技有限公司   2024年07月01日 08:58  

一.系統(tǒng)簡(jiǎn)介
 1. 系統(tǒng)名稱(chēng): 潔凈度多點(diǎn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
 2. 采用“潔凈度定點(diǎn)環(huán)境設(shè)備實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)”的必要性: 生產(chǎn)環(huán)境的潔凈程度對(duì)制藥或電子行業(yè)有著至關(guān)重要的作用。空氣中的污染物質(zhì)會(huì)使藥品或電子產(chǎn)品受到不良影響,甚至改變性能。危害藥品或電子產(chǎn)品質(zhì)量的污染物質(zhì),除了與其他工業(yè)潔凈廠房一樣,主要是懸浮在空氣中的粒子外,還有依附在粒子上的微生物。塵埃粒子不僅會(huì)污染產(chǎn)品而且也是細(xì)菌附著的載體,塵埃的多少往往標(biāo)志著細(xì)菌等微生物的多少。因此,空氣中塵埃粒子的數(shù)量和分布情況與環(huán)境的潔凈程度有很大的關(guān)系。 目前,藥廠的監(jiān)測(cè)方法一般都是定期的人工巡檢,可采用手持式或臺(tái)式單臺(tái)粒子計(jì)數(shù)器。


其存在以下缺點(diǎn):
 1)人工監(jiān)測(cè)將給潔凈廠房帶來(lái)額外的人員和設(shè)備,增加了潔凈負(fù)荷。人 體代謝約表皮細(xì)胞和設(shè)備帶入的污染物,會(huì)影響潔凈廠房的潔凈度而且還會(huì)使監(jiān)測(cè)的數(shù)據(jù)偏離實(shí)際運(yùn)行的情況。
 2)人工監(jiān)測(cè)缺乏采樣點(diǎn)和采樣時(shí)間的固定性。在手工操作下,前后兩次采樣點(diǎn)的位置很難保證在同一點(diǎn),采樣的時(shí)間也不能保證在不同班次或日期的同一個(gè)相對(duì)或時(shí)刻。因此,監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)之間很難產(chǎn)生相對(duì)的聯(lián)系,沒(méi)有可比性,不利于判斷系統(tǒng)運(yùn)行的長(zhǎng)期趨勢(shì)。
3)人工監(jiān)測(cè)所取得的數(shù)據(jù)在生成報(bào)告時(shí)缺乏一致性和連續(xù)性,而且需要轉(zhuǎn)錄或其他處理,往往會(huì)造成人為的錯(cuò)誤。
4)人工巡檢的檢測(cè)報(bào)告是滯后的結(jié)果,即使發(fā)現(xiàn)了問(wèn)題,但是環(huán)境污染造成的經(jīng)濟(jì)損失已不可彌補(bǔ)。
5)人工監(jiān)測(cè)是一項(xiàng)強(qiáng)度比較高的勞動(dòng),將耗費(fèi)大量的人力資源。 在生產(chǎn)過(guò)程中,環(huán)境的情況往往是變化的,原材料的進(jìn)出、人員的更換以及產(chǎn)品的變化都將對(duì)廠房的潔凈程度有所影響。往往在一個(gè)班次開(kāi)始時(shí)環(huán)境是滿(mǎn)足要求的而在結(jié)束時(shí)發(fā)現(xiàn)粒子數(shù)超出了標(biāo)準(zhǔn)。由于人工監(jiān)測(cè)無(wú)法提供連續(xù)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù),因此無(wú)法估計(jì)系統(tǒng)是在何時(shí)偏離了規(guī)定工況,更無(wú)法估計(jì)產(chǎn)品的質(zhì)量情況。這就違背了保證潔凈室空氣質(zhì)量,進(jìn)而提高產(chǎn)品質(zhì)量的初衷。 而潔凈度定點(diǎn)環(huán)境設(shè)備實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)避免了人工監(jiān)測(cè)的種種缺陷。它是將多臺(tái)遠(yuǎn)程遙控粒子傳感器安裝在各個(gè)所需的采樣點(diǎn)。分別分布在各處的粒子傳感器隨時(shí)測(cè)量被采樣的空氣,并將測(cè)量結(jié)果通過(guò)數(shù)據(jù)線(xiàn)和接口傳送到計(jì)算機(jī)。若配上環(huán)境探頭(如:溫度,相對(duì)濕度和壓差探頭), 還可以通過(guò)計(jì)算機(jī)得到各個(gè)測(cè)量點(diǎn)的環(huán)境參數(shù)值。這樣一來(lái), 計(jì)算機(jī)同時(shí)可以顯示各點(diǎn)的粒子計(jì)數(shù)值,溫度,濕度和壓差。
 3. “潔凈度定點(diǎn)環(huán)境設(shè)備實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)”的功能:
 1)可以連續(xù)的測(cè)量各取樣點(diǎn)的潔凈度,使整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程的每一時(shí)刻的環(huán)境情況得到監(jiān)測(cè)。
 2)在同一采樣點(diǎn),連續(xù)的監(jiān)測(cè)將會(huì)建立起生產(chǎn)過(guò)程中監(jiān)測(cè)值典型基線(xiàn),根據(jù)基線(xiàn)可以經(jīng)驗(yàn)地確定報(bào)警極限和動(dòng)作限。
 3)由于監(jiān)測(cè)到的數(shù)據(jù)在時(shí)間和空間上都具有固定性,所以,數(shù)據(jù)之間有可比性和參考性,可以在各參數(shù)間建立起相互的聯(lián)系,能提供系統(tǒng)運(yùn)行長(zhǎng)期趨勢(shì)的分析。
 4)可以系統(tǒng)、方便地記錄和整理監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù),避免了繁雜的勞動(dòng)和可能出現(xiàn)的錯(cuò)誤。
 4. 系統(tǒng)示意圖簡(jiǎn)述: (示意圖見(jiàn)下一頁(yè)) 示意圖描述:多臺(tái)粒子傳感器分別置于各測(cè)量點(diǎn)處,每一個(gè)粒子傳感器負(fù)責(zé)一個(gè)測(cè)量點(diǎn)的監(jiān)測(cè)。粒子傳感器引出的線(xiàn)組和采樣管分別與對(duì)應(yīng)墻壁接口板的相應(yīng)的插孔相連。氣泵與各接口板的采樣管插孔相連,負(fù)責(zé)提供各粒子傳感器采樣的動(dòng)力;而各線(xiàn)組間插孔則與電源和RS-485接口線(xiàn)相連,以提供電源的動(dòng)力和數(shù)據(jù)的傳輸。最后,RS-485 線(xiàn)經(jīng)過(guò)RS-232/RS-485 轉(zhuǎn)換器與計(jì)算機(jī)相連。這樣通過(guò)計(jì)算機(jī)可以控制采樣和記錄監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)。在這種方式下,可以對(duì)多個(gè)測(cè)量點(diǎn)進(jìn)行連續(xù)的采樣和監(jiān)測(cè)。因此又稱(chēng)為“24-7”監(jiān)測(cè)系統(tǒng),“24”指每天24 個(gè)小時(shí),“7” 指每周7天,形容該監(jiān)測(cè)系統(tǒng)是連續(xù)不斷的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。
 5. 發(fā)展趨勢(shì):該系統(tǒng)在歐洲(EU GMP)和美國(guó)(FDA)是尤為提倡的,尤其是針對(duì)一些核心區(qū)的潔凈度必須進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測(cè)。

 二. 系統(tǒng)示意圖

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三.系統(tǒng)組合
 1. 潔凈度監(jiān)測(cè)部分 1-1.粒子傳感器: 1-2.自?xún)暨^(guò)濾器:
 2. 計(jì)算機(jī)控制部分 2-1.控制軟件: 2-2. 控制計(jì)算機(jī):工業(yè)計(jì)算機(jī)(推薦)或家用計(jì)算機(jī)
 3. 線(xiàn)路連接部分 3-1.空氣流連接部分:Vacuum Pump ( 泵),PVC Pipe (泵PVC 管),Sample Tubing (采樣管),Plate (接口板) 3-2. 信號(hào)連接部分:RS458/RS232 Converter (RS485-RS232 轉(zhuǎn)換器) , Communication Cable (信號(hào)連接線(xiàn)),RS485 Cable (RS458 連接線(xiàn)),Plate (接口板) 3-3. 電源動(dòng)力連接部分:Power Supply(電源供電箱),AC/DC Supply (電源轉(zhuǎn)換器),Power Cable (電源連接線(xiàn)), Plate(接口板)
 4.報(bào)警監(jiān)測(cè)部分 4-1.PLC + Alarm light with Audible Alarm 4-2.PODS + Alarm light with Audible Alarm
 5.環(huán)境參數(shù)監(jiān)測(cè)部分 5-1.Relative Humidity/Temperature Sensors ( 相對(duì)濕度/溫度探頭) 5-2. Differential Pressure Sensors (差壓探頭)

 四.服務(wù)
 1. 銷(xiāo)售服務(wù): 提供附件: 現(xiàn)場(chǎng)培訓(xùn):
 2.售后保修服務(wù):所有售出主機(jī)及所有附件提供12 個(gè)月免費(fèi)(包括備件及人工)保修。易耗品,人為損壞,使用不當(dāng)不在保修范圍內(nèi)。
 3.售后校正服務(wù): 終身負(fù)責(zé)粒子計(jì)數(shù)器的每年定期校正服務(wù)。 校正報(bào)告:具有可追溯性
 4.售后維修服務(wù): 維修費(fèi)用:
1). 在保修期內(nèi), 免費(fèi)提供非人為造成的儀器及附件的損壞。
2). 超出保修期, 有償提供儀器及附件的維修服務(wù)。
響應(yīng)時(shí)間:1). 在接到用戶(hù)維修要求后在8 小時(shí)內(nèi)給出簡(jiǎn)單的故障診斷和解決方法指導(dǎo)用戶(hù)排除故障。
                 2).若在現(xiàn)場(chǎng)不能解決,需在我公司實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行維修服務(wù)。


四.資料

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