超純水又稱UP水，是指電阻率達到18 MΩ·cm(25℃)的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質(zhì)，更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。

　　關(guān)于超純水的規(guī)定，我們國家在 2017 年 5 月份推出名為《儀器分析用高純水規(guī)格及試驗方法》的標準里規(guī)定了超純水的電阻率一般大于18MΩ•cm，有機物含量TOC小于50ppb。這說明超純水中的離子含量非常低，除了H+和OH-外，其它離子幾乎可以忽略。而我們平常飲用的水中或多或少都含有些礦物成分，電導率一般在400μS/cm左右。

　　超純水由于其中的污染物質(zhì)含量非常低，單純的飲用對人體并沒有危害，但水中的某些成分能夠提升飲用的口感。飲用超純水的口感會稍差一些。另外，超純水是為了研制超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其他適當?shù)某R界精細技術(shù)生產(chǎn)出來的水，不宜飲用。

　　超純水可以在以下領(lǐng)域使用：

　　(1)電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領(lǐng)域。

　　(2)化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等。

　　(3)單晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝。

　　(4)高壓變電器的清洗等。

　　在電子行業(yè)中，超純水的應用十分廣泛。生產(chǎn)半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件等電子工業(yè)都用超純水設備。水質(zhì)可達可達18.2兆歐，符合電子行業(yè)生產(chǎn)所需超純水水質(zhì)要求。