造成GIS內發生局部放電的原因往往是多方面的，影響介質性能的缺陷主要有嚴重的裝配錯誤、自由金屬微粒、導體之間電氣或機械接觸不良、電極突出物、絕緣子缺陷、SF6中混有水蒸氣等幾類，如圖所示。
①嚴重的裝配錯誤
有些影響介質性能的嚴重裝配錯誤在交接試驗時可能會被漏檢。比如，本來只做運輸途中用的袋裝干燥劑，但在組裝時卻忘了從GIS部件中取出來，組裝后不易被檢測到。它雖然不會立即引起故障，卻對今后GIS的運行帶來了無窮后患。②自由金屬微粒
自由金屬微粒是氣體絕緣裝置中見的缺陷，它一直是導致GIS故障的主要原因。這些微粒可能是制造或組裝過程中產生的，也可能是開關裝置動作過程中產生的。 GIS中的自由金屬微粒能夠在交流電壓下獲得電荷并在電場的作用下移動，如果電場足夠強，微粒就能地穿過外殼和高壓導體之間的間隙。微粒運動的程度取決于微粒的材料、形狀等因素。當微粒靠近而未接觸到高壓導體時，更容易發生局部放電。微粒遷移并附著在絕緣子表面時也很危險。為此，對有關微粒的行為和故障機理己開展了大量的工作。③接觸不良的電位浮動
在GIS內，靜電屏蔽廣泛地用來控制危險部位的電場強度。屏蔽電極與高壓導體或接地導體間的電氣連接通常是輕負載接觸。由于這些連接部分只傳輸小的容性電流，通常對連接部分要求不高。然而一些連接部分在最初安裝時雖然接觸很好，但隨著時間推移會老化和位移，造成接觸不良，導致電位浮動。
屏蔽或導體連接點機械上的不良接觸會導致因靜電力引起的機械振動。這種振動會導致接觸進一步惡化，最終出現電極電位浮動。
對于大多數電位浮動的電極，所形成的充電電容會產生局部放電并產生相對較強的電磁和超聲信號。這種放電信號會形成腐蝕性的分解物和微粒，從而加速惡化過程，污染附近的絕緣表面直致造成絕緣失敗。④固定微粒
固定微粒通常有兩種存在形式:一是金屬突起，一是微粒附著在固體絕緣或絕緣子表面。
金屬突起通常是由于不良加工、機械破壞或組裝時的擦刮而出現的，尖頭突出形成絕緣氣體中的高場強區。這些突出物通常異常尖銳，在工頻電壓下電暈會變得穩定化，因而在穩態工作條件下不一定會引起擊穿。然而，在快速暫態現象下，譬如在雷電波，尤其是在快速暫態過電壓下這些缺陷會引起故障。
絕緣子表面的微粒，若是暫時粘在絕緣子表面的，通常會移動到低場強區而不發生局部放電，但在某些情況下會長期地固定在絕緣子表面。作為固定微粒，它粘貼在絕緣表面的作用類似于金屬突起物。⑤絕緣子缺陷
絕緣子表面異常是由其它的缺陷類型引起的二級效應，比如局部放電產生的分解物、金屬微粒或者絕緣氣體中可能過多的水氣引起的破壞。另外，現場測試時閃絡產生的樹痕在某種情況下也可以被視為缺陷。
絕緣子內的缺陷通常很小，常常是一些在制造過程中形成但又很難檢測到的缺陷，比如在制造過程中嵌入的金屬微粒、環氧樹脂在固化過程中的收縮以及環氧樹脂和金屬電極不同的熱脹系數而出現的空隙和層離。⑥SF6中混有水蒸氣等
GIS中使用的高氣壓SF6是一種良好的絕緣介質，在實際設計中，少量的添加某些其它氣體對SF6的介質行為沒有大的影響，而水蒸氣對SF6的介質性能影響很大。當溫度下降時，水蒸氣就會出現凝露，結合其它混合物，影響介質表面的導電性，改變它的老化特征或直接導致故障。
上述任何一種缺陷都有可能發生，掌握GIS內部的缺陷類型特征，研究各種缺陷的嚴重程度，將GIS內的局部放電類型進行分類，對于GIS的檢修工作有著重要的現實意義。
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