今日煒盛科技知識科普為您講述一下氣體傳感器中的新秀-”MEMS傳感器“,看看這顆小明星是如何發展壯大起來的,未來的又有多少呢?
MEMS即微機電系統(Microelectro Mechanical Systems),是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經過四十多年的發展,已成為世界矚目的重大科技領域之一。
MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。與傳統的傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現智能化的特點。同時,在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統機械傳感器所不能實現的功能。
MEMS傳感器種類日益增多,有較為成熟的MEMS壓力傳感器、加速度傳感器、陀螺儀、MEMS流量傳感器、MEMS溫度傳感器, MEMS濕度傳感器、還有斬露頭角的MEMS氣體傳感器等等,產品具有廣闊的市場應用空間,涉及汽車、電子、機械、材料、物理、化學、生物、醫療、工業、民用消費類產品等各個領域。
隨著信息技術和物聯網技術的發展,就像目前表現突出的智能手機和平板電腦的巨大市場需求,MEMS產業發展進入快車道, MEMS傳感器會從現有的分立式傳感器應用逐步向集成式、陣列式整體應用方案升級過渡。專家預計: 2020年MEMS產業將超過200億美元!
業內人士都非??春没贛EMS技術的化學/氣體傳感器,一致認同將成為未來的“明星”產品。新一代低功耗的MEMS氣體傳感器,有別于傳統半導體氣體傳感器,不僅尺寸小,重量輕,而且功耗也非常低,成本會更低,新的產品技術打破了傳統氣體傳感器的應用格局,未來在智能手機和可穿戴設備領域都將廣泛采用,甚至會改變原有傳統氣體傳感器的應用模式。
那么,MEMS氣體傳感器與傳統的氣體傳感器具體的區別體現在哪呢?
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