擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電薄膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量

來源：北京中慧天誠科技有限公司 2025年06月17日 22:00

方阻測(cè)定儀用于測(cè)量半導(dǎo)體材料（硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電薄膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。它主要由電氣測(cè)量部份（簡(jiǎn)稱：主機(jī)）、測(cè)試架及四探針頭組成。

儀器是配精度為0.05%的恒流源、恒流源開關(guān)以及雙數(shù)字表，在測(cè)量電阻率的同時(shí)，數(shù)字表監(jiān)測(cè)電流變化，儀器可選配測(cè)量軟件用于測(cè)量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正，并計(jì)算出硅片電阻率、徑向電阻率的MAX百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度。

規(guī)格參數(shù)

測(cè)量范圍：

測(cè)電阻率：0.00001～1999.9Ω·cm

測(cè)方塊電阻：0.0001～19999Ω/□

恒流源：

直流輸出電流：0.001～100mA五檔可調(diào)

量程范圍：0.001～0.01mA、0.01～0.10mA、0.10～1.0mA、1.0～10mA、10～100mA

恒流精度：±0.05%

直流數(shù)字電壓表：

測(cè)量范圍：0～19.999mV

靈敏度：1μV

基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%）

輸入阻抗：≥1000MΩ

測(cè)量精度：1～1000Ω·cm≤3%

供電電源：AC 220V±10%，50z/60Hz

功率范圍：12W

環(huán)境溫度：23±2℃

相對(duì)濕度：≤65%

四探針電阻率/方阻測(cè)試儀0.00001-1990Ω·cm（低阻型）

型號(hào)：GDSKDY-1L

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擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電薄膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量

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