硅晶塊、晶片的電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜的測(cè)量方法

來(lái)源：北京中慧天誠(chéng)科技有限公司 2025年06月17日 22:01

便攜式電阻率測(cè)試儀用于測(cè)量硅晶塊、晶片的電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的儀器。

儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的測(cè)試方法要求。儀器是由電器測(cè)量部份（主機(jī)）及四探針頭組成，需要時(shí)可加配測(cè)試架。

儀器用一塊數(shù)字表測(cè)量電流及電阻率。樣品測(cè)試電流是由恒流源提供，可進(jìn)行校準(zhǔn)，儀器可用于分選材料及產(chǎn)品檢測(cè)。對(duì)1～100Ω·cm樣片的測(cè)量誤差＜±3%。

規(guī)格參數(shù)：

測(cè)量范圍：

測(cè)量電阻率：0.01～199.9Ω·cm

測(cè)方塊電阻：0.1～1999Ω/□

被測(cè)材料電阻率：≥200Ω·cm

數(shù)字表顯示：0.00

恒流源：

直流輸出電流：0.1mA～10mA分兩檔

0.1～1mA連續(xù)可調(diào)

1mA～10mA連續(xù)可調(diào)

恒流精度：±0.1%

直流數(shù)字電壓表

測(cè)量范圍：0～199.9mv

靈敏度：100μV

準(zhǔn)確度：0.2%（±2個(gè)字）

供電電源：AC 220V ±10%，50z/60Hz

功率范圍：8W

相對(duì)濕度：≤80%

便攜式電阻率測(cè)試儀/方阻測(cè)試儀

型號(hào)：GDS/KDY-1A

相關(guān)產(chǎn)品

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