原子吸收光譜分析是基于試樣蒸氣相中被測元素的基態原子對由光源發出的該原子的特征性窄頻輻射產生共振吸收，其吸光度在一定范圍內與蒸氣相中被測元素的基態原子濃度成正比，以此測定試樣中該元素含量的一種儀器分析方法。
組成
光源
光源的功能是發射被測元素的特征共振輻射。對光源的基本要求是：發射的共振輻射的半寬度要明顯小于吸收線的半寬度；輻射強度大；背景低，低于特征共振輻射強度的1%;穩定性好，30min之內漂移不超過1%;噪聲小于0.1%;使用壽命長于·h.多用空心陰極燈等銳線光源。
原子化器
原子化器的功能是提供能量，使試樣干燥、蒸發和原子化。在原子吸收光譜分析中，試樣中被測元素的原子化是整個分析過程的關鍵環節。實現原子化的方法，zui常用有兩種：一種是火焰原子化法（火焰原子化器），是原子光譜分析中zui早使用的原子化方法，至今仍在廣泛地被應用；另一種是非火焰原子化法，其中應用zui廣的是石墨爐電熱原子化法。
分光器
分光器由入射和出射狹縫、反射鏡和色散元件組成，其作用是將所需要的共振吸收線分離出來。分光器的關鍵部件是色散元件，商品儀器都是使用光柵。原子吸收光譜儀對分光器的分辨率要求不高，曾以能分辨開鎳三線Ni230.003,Ni231.603,Ni231.096nm為標準，后采用Mn279.5和Mn279.8nm代替Ni三線來檢定分辨率。光柵放置在原子化器之后，以阻止來自原子化器內的所有不需要的輻射進入檢測器。
檢測系統
原子吸收光譜儀中廣泛使用的檢測器是光電倍增管，一些儀器也采用CCD作為檢測器。
列舉部分儀器的個別參數，供參考：
（一）光學系統
波長范圍：190nm~900nm
波長準確度：±0.2nm
波長重復性：±0.1nm
儀器光度誤差：1.0Abs時≤0.01Abs,2Abs時≤0.02Abs
靜態基線噪聲：≤±0.001A/30min
動態基線噪聲：≤±0.003A/30min
氘燈背景校正能力：大于50倍（1Abs背景）塞曼背景校正能力：大于100倍（1Abs背景）
氘燈、元素燈
（二）原子化系統
火焰分析特征濃度（Cu）：0.02μg/ml/1%
檢出限（Cu）：0.006μg/ml
精密度：RSD≤1%
石墨爐分析特征量（Cd）：0.4×10-12g
檢出限（Cd）：0.5×10-12g
精密度：RSD≤3%
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