超純水設備其實就是一套濃縮的水處理系統，和大型水處理系統相比工藝基本上是大同小異，它們所采用的工藝都取決于水源的水質以及用水的目的，所選定的工藝基本可分為預處理系統、深度處理系統及終端處理系統三部分。其中預處理包括多介質過濾器、活性炭過濾器、軟化器、除鐵除錳過濾器、超濾、微濾等；深度處理為膜法處理及離子交換；后處理系統為殺菌、離子交換等。
預處理系統主要特點：
1、設備結構合理，處理能力大；
2、設備操作簡單合理，可根據用戶喜好采用自動或手動操作；
3、所采用材料均為優質不銹鋼或者碳鋼襯膠；
4、所需備品備件規格少，更換簡單。
預處理系統就是采用機械過濾、吸附、混凝等形式近可能的去除水中的固體顆粒、膠體、懸浮物、游離性余氯及有機物等，并降低進水濁度、色度、臭味、硬度等來保證預處理的出水能夠達到深度除鹽系統的進水要求。
深度處理系統主要特點：
1、操作簡單、維護方便；
2、系統可為自動或手動運行；
3、系統排放水不會給環境造成任何污染；
4、與傳統除鹽設備如電滲析、陰陽床相比，無須酸堿再生、維護費用低、占地位置小。
終端處理系統主要特點：
1、操作簡單、維護方便，不需要備用可以連續出水；
2、與傳統設備相比體積比較小，維護費用低；
3、系統可為自動或手動運行；
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