在工藝用水的冷卻過程中（如冷卻塔），由于熱交換器接頭存在小隙縫，造成揮發性有機物向冷卻管外的冷卻水中擴散，再揮發排至大氣；其它排放源，如廠內廢水溝渠、油水分離池、廢水處理設施等，因具有較大的大氣接觸表面，亦會有較多的VOCs排放。

　　污水中有機性物質可能因其水中溶解性及揮發性，反復地穿梭于氣體與液體之間。例如在使用洗滌塔污染防治設備時，許多水溶性VOCs可能溶于水中。這些洗滌水被送往污水處理廠后，如果以傳統曝氣方式處理污水，則原先溶入的VOCs再度蒸發至大氣，造成VOCs排放及局部空氣污染。

　　污水處理初級設施，如集水池（調節池）、隔油池等因廢水尚未處理，VOCs逸散濃度高。鼓風曝氣池、氣浮池這類對廢水進行鼓風、溶氣操作的廢水處理設施，因大量通入空氣，原先溶入的VOCs再度蒸發至大氣，VOCs逸散濃度雖不高，但總量很大，應予以控制，一般需要加蓋后收集處理。