益處
- HPG400 可節省成本和工具空間,降低真空系統安裝與設置的復雜性
- 高壓熱電離真空計可以準確可靠地測量 1×10-5 … 1 毫巴范圍內的壓力,進而改善過程控制
- 用戶可選的熱離子發射在 5×10-2 至 1 毫巴之間啟動
- 皮拉尼聯鎖保護熱絲,防止過早燒毀
- 備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
- 高真空皮拉尼自動調節,減少操作員干預
- RoHS 合規
典型應用
- 半導體制造、電子和媒介產業中的濺射應用
- 工業鍍膜
- 低真空和高真空范圍內的一般真空測量和控制
規格
類型 | HPG400 | |
---|---|---|
測量范圍(空氣,N2) | 2×10-6 … 1000 | |
精度 | ||
10-5 … 1 毫巴 | % of reading | ±15 (1) |
可重復性 | ||
10-5 … 10-1 毫巴 | % of reading | 2 |
10-1 … 100 毫巴 | % of reading | 30 |
熱離子發射,可選: | ||
選購件 1 | mbar | 1 |
選購件 2 | mbar | 5×10-1 |
選購件 3 | mbar | 2×10-1 |
選購件 4 | mbar | 1×10-1 |
選購件 5 | mbar | 5×10-2 |
壓力, | bar (absolute) | 2 |
溫度 | ||
運行(環境) | °C | 0 … +50 |
貯存 | °C | -20 … +70 |
在法蘭處烘烤 | °C | 80 |
移除烘烤電子設備 | °C | 150 |
電源電壓 | 20 … 28 | |
輸出信號模擬 | ||
輸出信號 | V | 0 … +10.2 |
測量范圍熱陰極 | V | 1.5 … 7.5 |
測量范圍皮拉尼 | V | 8.5 … 9.75 |
電壓比壓強熱陰極 | volts per decade | 1 |
電壓與壓強皮拉尼 | volts per decade | 0.25 |
錯誤信號熱陰極 | V | 0.3 |
錯誤信號皮拉尼 | V | 0.5 |
最小負載電阻 | k? | 10 |
接口(數字)(2) | RS232C | |
電氣連接 | D-Sub, 15-pin, male | |
電纜長度, (3) | m (ft.) | 100 (330) |
暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
內部容積 KF / CF | cm3 (in.3) | 20 (1.2) / 30 (1.8) |
重量 KF / CF | g | 430 / 695 |
保護等級 | IP30 | |
DeviceNet™ | ||
協議 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
數據率開關 | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
電纜長度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
電纜長度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) |
電纜長度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) |
MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
網絡規模 | up to 64 nodes per segment | |
數字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
模擬功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
可視通信指示器 |