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日立FT9500 X射線熒光鍍層厚度

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  • 更新時間2022-03-03
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使用新開發的X射線聚光用多毛細管的產品陣容誕生了
日立FT9500 X射線熒光鍍層厚度 產品詳情

使用新開發的X射線聚光用多毛細管的產品陣容誕生了。另外,以X射線檢測結構為中心,對各類元件進行更佳優化,從而大幅提高了檢測靈敏度,在不損失檢測精度的前提下實現了的高處理能力。并且,對設備進行了重新設計,使得樣本室的使用,以及對檢測點的檢查變得更為容易。

1.顯微領域的高精度檢測

通過采用新開發的多毛細管,以及對探測器的優化,在實現照射半徑等同于舊有型號FT9500X為30 μm(設想FWHM: 17 μm)的基礎上,進一步將處理能力提高到了2倍以上。

2.產品陣容適應各類檢測樣本

針對檢測樣本的不同種類,可在下列3種型號中進行選擇。


· 測量引線架、連接器等各類電子元器件的微型部件、超薄薄膜的型號

· 能夠處理尺寸為600 mm×600 mm的大型印刷電路板的大型印刷電路板用型號

· 適合對陶瓷芯片電極部分中,過去難以同時測量的Sn/Ni兩層進行高能測量的型號

3.兼顧易操作性與安全性

放大了開口,同時樣本室的門也可單手輕松開閉。從而提高了取出、放入檢測樣本的操作簡便性,并且該密封結構也大大減少了X射線泄漏的風險,讓用戶放心使用。

4.檢測部位可見

通過設置大型觀察窗、修改部件布局,使得樣本室門在關閉狀態下亦可方便地觀察檢測部位。

5.清晰的樣本圖像

使用了分辨率比以往更高的樣本觀察攝像頭,采用全數碼變焦,從而消除位置偏差,可以清晰地觀察數十μm的微小樣本。
另外,亦采用LED作為樣本觀察燈,無需像以往的機型那樣對燈泡進行更換。

6.新GUI


將各類檢測方法、檢測樣本都以應用程序圖標的形式進行了登記。圖標皆為檢測樣本的照片、多層膜的圖示等,因此登記、整理起來就很方便,從而使得用戶可以不走彎路,直接進行檢測。

使用檢測向導窗口來指導操作。通過與檢測畫面聯動,逐步引導用戶執行當前所需進行的工作。

從左邊開始、啟動畫面 ・易于操作的開口部 ・大開口的樣本室門・高靈敏度(Au光譜圖示)

型號FT150(標準型)FT150h(高能量型)FT150L(大型線路板對應)
測量元素原子序數13(Al)~92(U)
X射線源管電壓:45 kV
Mo靶W靶Mo靶
檢測器Si半導體檢測器(SDD)(無需液氮)
X射線聚光聚光導管方式
樣品觀察CCD攝像頭(100萬像素)
對焦激光對焦、自動對焦
樣品尺寸400(W) × 300(D) × 100(H) mm400(W) × 300(D) × 100(H) mm600(W) × 600(D) × 20(H) mm
工作臺行程400(W) × 300(D) mm400(W) × 300(D) mm300(W) × 300(D) mm
操作系統電腦、22英寸液晶顯示屏
測量軟件薄膜FP法(最多5層膜、10元素)、檢量線法、定性分析
數據處理Microsoft Excel、Microsoft Word 安裝
安全功能樣品門聯鎖
消耗電量300 VA以下

選購項


能譜匹配軟件(材料辨別)

塊體FP(測量金屬成分比)

樣品操作限制設置

晶圓治具(FT150/FT150h)

觸摸板

信號燈

打印機

緊急停止開關箱

      高性能X射線熒光鍍層厚度測量儀 FT150系列

    FT150利用多毛細管所產生的照射直徑為30 µm的高強度X射線光束,導線架、微小連接器、柔性電路板等微小零件及超薄鍍層的高精度分析評價。

    高性能X射線熒光鍍層厚度測量儀 FT150系列

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