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為克服器件制造的設(shè)備空間限制，矽碁科技開發(fā)出適合2英寸晶圓的小型半導(dǎo)體制造平臺-Mini Line，配置靈活，占地面積小，運(yùn)行成本低。適用于科研和企業(yè)用戶教學(xué)和小批量器件制造。
優(yōu)勢：
1 設(shè)備成本低；
2 運(yùn)行能耗低；
3 占地面積小；
4 制造效率高；
5 配置方式靈活；
可集成設(shè)備清單：
1 多靶槍磁控濺射
2 電子束蒸發(fā)
3 熱蒸發(fā)
4 PECVD
5 RIE
6 PEALD
7 ALE
8 Annealing
9 Plasma treatment
| 產(chǎn)品名稱 | 參考價 | 地區(qū) | 公司名稱 | 更新時間 | |
|---|---|---|---|---|---|
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