一、武漢半導體探針臺定制核心功能
電氣性能測試:對集成電路(IC)、分立器件等進行精密電氣測量,確保器件質(zhì)量與可靠性,降低制造成本。
晶圓級測試:在晶圓制造環(huán)節(jié)檢測各芯片電氣性能,剔除缺陷芯片,避免后續(xù)封裝成本浪費。
失效分析:定位芯片制造缺陷,如光刻偏移、刻蝕殘留等導致的電學異常,為工藝改進提供依據(jù)。
研發(fā)支持:優(yōu)化器件性能,篩選良品,探索新型高效微電子器件和工藝。
二、武漢半導體探針臺定制技術分類
按操作方式:
手動探針臺:晶圓載物臺、顯微鏡等由使用者手動移動,適用于簡單測試場景。
半自動探針臺:載物臺可編程,通過軟件控制移動與方位,支持精確運動、可重復接觸和數(shù)據(jù)采集,滿足小批量生產(chǎn)需求。
全自動探針臺:集成晶圓材料處理搬運單元(MHU)和模式識別(自動對準),實現(xiàn)晶圓自動輸送、定位與測試,提高測試效率。
按功能:
高低溫探針臺:可在不同溫度環(huán)境下測試芯片性能,適用于對溫度敏感的器件。
射頻探針臺:具備高頻測試能力,滿足射頻器件的測試需求。
霍爾效應探針臺:用于測量材料的霍爾效應,分析載流子類型和濃度。
按晶圓尺寸:分為8英寸、12英寸等不同規(guī)格,以適配不同尺寸的晶圓測試。
三、應用領域
半導體制造:涵蓋晶圓檢測、芯片研發(fā)、故障分析等環(huán)節(jié),確保芯片質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
集成電路封裝測試:檢測封裝后芯片性能,保障封裝工藝質(zhì)量與可靠性。
光電行業(yè):測試LED、光電探測器、激光器等光電元件性能,推動光電通信、顯示技術發(fā)展。
材料科學:測量新型材料電學性能,研究材料在不同溫度下的電學、磁學、光學性能及穩(wěn)定性。
生物醫(yī)學:研究生物材料表面生物相容性,進行生物分子、細胞和組織的高分辨率成像與分析,助力生物傳感器開發(fā)。
能源與航天航空:測試太陽能電池、燃料電池等新能源器件性能,以及高可靠性電子器件在環(huán)境下的表現(xiàn)。
四、發(fā)展趨勢
自動化與智能化:結合機器視覺與AI算法,實現(xiàn)探針與器件自動對準、接觸力智能優(yōu)化,提升測試效率與精度。
多物理場耦合測試:集成電學、熱學、光學測試模塊,滿足復雜測試需求,如鐵電材料極化翻轉過程中的光電流監(jiān)測。
低成本與便攜化:開發(fā)小型化、電池供電的便攜式探針臺,滿足物聯(lián)網(wǎng)邊緣設備現(xiàn)場快速測試需求。
高精度與多功能:持續(xù)提升定位精度與測試功能,適應制程芯片的測試要求。