美國康寧Corning Tropel Flat Master 200平面度儀也稱為平整度儀、平坦度儀,為精密部件的制造商提供了業界的表面形態測量。通過非接觸式光學測量技術記錄下整個表面的數據。Flat Master 200平面度儀能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數進行測量。


Flat Master 200平面度儀產品特點:
? 無接觸和無損傷測量
? 適用多種類型材料:半導體,金屬,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料
? 適用多種類型晶片:硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
? 適用多種類型表面:研磨表面,拋光面,光滑面
Flat Master 200平面度儀可測量多種不同指標:
? 厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓
? 完整的分析系統
? 三維/拓撲/合格率/分布/二維環形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度
? 可以實現自動、快速、準確、穩定的測量
? 超過15年的工業應用,幾百臺的裝機量
Flat Master 200平面度儀的技術參數:
1)精度:50nm (2.0μ″)
2)重復性:15 nm(0.6μ″)(1 sigma)
3)分辨率:5nm (0.2μ″)
4)可測量工件尺寸:25mm-200mm
5)動態測量范圍:>100um
6)測量數據點:230,000 點 / 每次測量
7)測量時間:5秒
8)電源:220V 50Hz
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