平面度測量儀 快速、準確地測量經(jīng)粗磨、研磨、精磨、拋光和精加工的部件
Flatmaster 100平面度儀提供了五種納米級的解析度和高達50納米的標準精度,能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數(shù)進行精密測量。
Tropel Flat master 100平面度儀技術特點及應用領域: | ||
? 無接觸和無損傷測量 ? 適用多種類型材料: 半導體,金屬,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料 ? 適用多種類型晶片: 硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰 ? 適用多種類型表面: 研磨表面,拋光面、光滑面 | ![]() | ![]() |
可測量多種指標 | 完整的分析系統(tǒng) | ||
● 厚度 ● TTV ● SORI ● LTV ● LDOF ● 壓力 | ● 翹曲度 ● 彎曲度 ● 平坦度 ● 平面度 ● 線輪廓 ● 表面輪廓 | ● 三維 ● 拓撲 ● 合格率 ● 分布 ● 二維環(huán)形 ● 半徑切面 | ● 平面 ● 球面 ● 錐形匹配 ● 局部平面度分析 ● 斜度 |
技術參數(shù): | |
? 精度:50nm (2.0μ″) ? 重復性:15 nm(0.6μ″)(1 sigma) ? 分辨率:5nm (0.2μ″) ? 可測量工件尺寸:25mm-100mm(更小工件也可提供) ? 動態(tài)測量范圍:>100um ? 測量數(shù)據(jù)點:230,000 / measurement ? 測量時間:5秒 ? 電源: ~220V 50Hz | ![]() |