1型掃描電聲顯微鏡（SEAM)技術參數：
工作頻率：20kHz - 1MHz
工作電壓：小于等于50V
分辨率：橫向小于等于0.3um，縱向小于等于0.16um 實時觀察二次電子像和分層電聲像
相關詞: 電聲顯微鏡;SEAM
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分辨率：橫向小于等于0.3um，縱向小于等于0.16um 實時觀察二次電子像和分層電聲像
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