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高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)是一類采用壓電晶體作為檢測(cè)元件,輸出與流量成正比的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)的流量?jī)x表。既可進(jìn)行氣體流量計(jì)量工 作,也可用于過(guò)程控制領(lǐng)域。

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布魯克斯儀器創(chuàng)始于1946年。總部位于美國(guó)賓夕法尼亞州。布魯克斯儀器在工業(yè)儀表行業(yè)中位列*。2008年，曾作為500強(qiáng)及工業(yè)控制排名的艾默生（Emerson）集團(tuán)創(chuàng)始公司之一的布魯克斯儀器從艾默生公司中獨(dú)立出來(lái)。BROOKS高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)廠

MQ系列高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)
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熱式高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用熱擴(kuò)散原理測(cè)量氣體流量的儀表。傳感器由兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)熱電阻（RTD）組成。一個(gè)是速度傳感器RH，一個(gè)是測(cè)量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當(dāng)這兩個(gè)RTD置于被測(cè)氣體中時(shí)，其中傳感器RH被加熱，另一個(gè)傳感器RMG用于感應(yīng)被測(cè)氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。

BRONKHORST高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)，擁有專門(mén)為‘實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用所設(shè)計(jì)的PC板模塊化結(jié)構(gòu)。控制閥可以是一體的，也可以是分體的。可測(cè)量和控制的氣體流量范圍：
zui低流量可達(dá)0,014...0,7 mln/min
zui高流量可達(dá) 8...1670 ln/min