【儀表網 儀表研發】時間分辨掃描電子顯微鏡是觀察功能材料和生命體系表面結構動力學演變的重要設備，可以揭示材料、器件和生命體中電荷的超快轉變規律，實現高時空分辨成像及原位測量，研究材料體系的瞬態演變，發現新現象。
 

　　近期，中國科學院物理研究所李建奇研究團隊依托懷柔綜合極端條件實驗裝置成功自主研制了時間分辨掃描電子顯微鏡，完成了超快電子發射陰極、原位加載模塊、激光港、顯微圖像分析等關鍵部件的研發工作(圖1)。該設備是首臺全國產化的超快掃描電子顯微鏡，主要包括：掃描電鏡主機、飛秒激光器和光電聯機裝置，填補了我國在高時空分辨掃描分析設備領域的空白。該儀器具有國際領先的技術指標，光發射模式下時間分辨率優于1 ps，空間分辨率優于10 nm，原位變溫分析范圍覆蓋100至1050 K。基于本設備的研發，研究團隊已取得多項核心專利技術，研究了雪崩二極管器件中的光激發載流子動力學過程，展示了儀器的高時空分辨率能力(圖2)。“時間分辨掃描電子顯微鏡研制”工作得到了北京市科技計劃課題等的支持。
 

圖1：依托綜合極端條件實驗裝置平臺研制的“時間分辨掃描電子顯微鏡”實物圖
 

　　圖2：半導體器件中的載流子超快運動：(a)和(b)為飛秒激光脈沖激發前后樣品表面載流子分布變化情況(標尺：100微米)；(c) 載流子動態行為中包含的快過程和慢過程。