【儀表網(wǎng) 儀表標(biāo)準(zhǔn)】近日，國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃《表面化學(xué)分析 x射線光電子能譜 選擇儀器性能參數(shù)的表述》編制完成并征求意見(jiàn)，時(shí)間截止到2023年3月8日。主要起草單位有廈門(mén)大學(xué)、廈門(mén)荷清教育咨詢(xún)有限公司等。
 

　　表面分析是新材料、新能源生科技術(shù)等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的重要技術(shù)。XPS(X 射線光電子能譜儀)是表面分析的最核心儀器。其重要特征是能獲得固體樣品表面區(qū)域(≈1 nm 至 10 nm)的定性量分析。
 

　　世界上有多家廠商生產(chǎn)x射線光電子能譜儀。盡管每臺(tái)儀器的XPS分析方法的基本原理是相同的，但儀器的具體設(shè)計(jì)和性能說(shuō)明的方式各不相同。因此，通常很難比較不同廠商生產(chǎn)的儀器性能。
 

　　為使我國(guó)XPS和AES分析技術(shù)保持與國(guó)際接軌，國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)與ISO同步，全國(guó)微束分析技術(shù)委員會(huì)表面分析分技術(shù)委員會(huì)于2018年提出將ISO 15470:2017轉(zhuǎn)化為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，并列入原國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)委2021制修訂國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃，項(xiàng)目編號(hào)為20214940-T-469。
 

　　目前，我國(guó)本領(lǐng)域僅有GB/T28892-2012/ISO15470:2004 IDT《表面化學(xué)分析X射線光電子能譜儀選擇儀器性能參數(shù)的表述》國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。本標(biāo)準(zhǔn)是等同采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO 15470:2017制定的相應(yīng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，屬于國(guó)際國(guó)內(nèi)先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)。
 

　　本標(biāo)準(zhǔn)與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)在技術(shù)內(nèi)容方面完全相同，僅作下述編輯性修改:a、改變國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的封面，以符合本國(guó)標(biāo)準(zhǔn)的封面規(guī)定;
 

　　b、改變標(biāo)準(zhǔn)的編號(hào)與現(xiàn)有國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)一致;
 

　　c、重新編排全文的頁(yè)碼;
 

　　d、重新編排目次中的頁(yè)碼;
 

　　e、刪除國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)中有關(guān)ISO的前言部分;f、增加有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)編制說(shuō)明的前言部分;
 

　　g、用小數(shù)點(diǎn)符號(hào)“.”代替作為小數(shù)點(diǎn)的符號(hào)“,”。
 

　　本文件詳細(xì)表述了如何選擇x射線光電子能譜儀的性能參數(shù)。其中包括選用的分析方法、樣品制備、系統(tǒng)的構(gòu)造、x射線源、空間分辨率、譜儀強(qiáng)度性能和能量分辨率、譜儀的能量標(biāo)尺、響應(yīng)函數(shù)、荷電中和、真空環(huán)境等;也給出本文件涉及的規(guī)范性引用文件、術(shù)語(yǔ)及定義、符號(hào)及縮略語(yǔ)等。
 

　　本文件提供了一個(gè)基本項(xiàng)目單，以使所有x射線光電子能譜儀能以共同的方式來(lái)表述。廠商的說(shuō)明書(shū)可能長(zhǎng)達(dá)30頁(yè)或更多，本文件無(wú)意取代廠商的說(shuō)明書(shū)，而是就廠商說(shuō)明書(shū)中所確定的某些項(xiàng)目給出一致、明確的定義。
 

　　現(xiàn)有國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)體系中GB/T28892-2012《表面化學(xué)分析X射線光電子能譜儀選擇儀器性能參數(shù)的表述》國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)是ISO15470:2004等同轉(zhuǎn)化,本標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布后，需廢除該國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。