質(zhì)量流量控制器為各種氣體工業(yè)和試驗(yàn)應(yīng)用設(shè)計(jì)了彈性密封和分析方法。采用主體不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON 、聚四氟乙烯等。用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)，行精密測量和控制；各種腐蝕性氣體；氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準(zhǔn)；高精度；重復(fù)性好；響應(yīng)速度快、軟啟動、穩(wěn)定可靠；低壓降；工作壓力范圍寬（可以在高壓或真空條件下工作）；操作使用方便，可任意位置安裝；便于與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動控制。
質(zhì)量流量控制器應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制；分析儀器設(shè)備的氣體計(jì)量與控制；各種形式的真空鍍膜設(shè)備；環(huán)境檢測與分析設(shè)備 ；化工、石化、食品行業(yè)氣體流量監(jiān)測和控制；特種材料表面處理裝置與燃燒控制；混氣配氣系統(tǒng)和泄漏探測系統(tǒng)等。
流體在旋轉(zhuǎn)的管內(nèi)流動時會對管壁產(chǎn)生一個力，它是科里奧利在1832年研究水輪機(jī)時發(fā)現(xiàn)的，簡稱科氏力。MKS質(zhì)量流量控制器以科氏力為基礎(chǔ)，在傳感器內(nèi)部有兩根平行的T型振管，中部裝有驅(qū)動線圈，兩端裝有拾振線圈，變送器提供的激勵電壓加到驅(qū)動線圈上時，振動管作往復(fù)周期振動，工業(yè)過程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動管，就會在振管上產(chǎn)生科氏力效應(yīng)，使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動，安裝在振管兩端的拾振線圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號，這兩個信號差與流經(jīng)傳感器的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。計(jì)算機(jī)解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量。不同的介質(zhì)流經(jīng)傳感器時，振管的主振頻率不同，據(jù)此解算出介質(zhì)密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測量介質(zhì)的溫度。
質(zhì)量流量控制器利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
