能量色散X熒光光譜儀技術原理：

受激發的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統測量這些放射出來的二次X射線的能量及數量。然后，儀器軟件將探測系統所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。

元素的原子受到高能輻射激發而引起內層電子的躍遷，同時發射出具有一定特殊性波長的X射線，根據莫斯萊定律，熒光X射線的波長λ與元素的原子序數Z有關，其數學關系如下：

λ=K(Z− s) −2

式中K和S是常數。

而根據量子理論，X射線可以看成由一種量子或光子組成的粒子流，每個光具有的能量為：

E=hν=h C/λ

式中，E為X射線光子的能量，單位為keV；h為普朗克常數；ν為光波的頻率；C為光速。

因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎。此外,熒光X射線的強度與相應元素的含量有一定的關系，據此，可以進行元素定量分析。

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能量色散X熒光光譜儀性能：

1.超低能量分辨率，輕元素檢測效果更佳
使用大面積鈹窗電致冷SDD探測器，探測器分辨率zui低達到139eV，各項指標優于國家標準。SDD探測器具有良好的能量線
性、良好的能量分辨率，及良好的能譜特性，較高的峰背比；對Si、S、AI等輕元素的測試具有良好的分析精度。

2. 測試精度更高，檢出限更低
①專業化的樣品腔設計，帶可調速的自旋樣品腔，能有效的測定輕元素和減少樣品均一性的影響，提高樣品的測試精度。
②采用超小超真空的樣品腔設計，保證測試時達到10Pa以下，使設備的測試范圍可從F元素起測試，大大地提高測試范圍、輕元素檢出限和精度。

3. 分析速度更快，從第1秒即可得到定性定量結果
采用自主研發的數字多道技術，其zui大線性計數率可達100kcps，可以更加快速的分析，從第1秒就可以得出定性定量結果，
設計成高計數率，大大提高了設備的穩定性。

4. 一鍵式智能化操作
專業軟件，先進的FP法和EC法等多種方法嵌入的人性化的應用軟件，具有高靈敏度、測試時間短、一鍵智能化操作，使操作簡易，對操作人員限制小的特點。

5. 強大的自動化功能
①自動化程度高，具有自動開蓋、自動切換準直器與濾光片等功能。
②采用自動穩譜裝置，保證了儀器工作的*性：利用解譜技術使譜峰分解，采用多參數的線性回歸方法，使元素間的吸收、排斥效應得到明顯的降低。

6. 強度校正法
具有多種測試模式設置和無限數目模式的自由添加，內置強度校正方法，可校正幾何狀態不同和結構密度不均勻的樣品造成的偏差。

7. 完善的光路系統
自主研發的光路系統，光程更短，光路損失更少，激發效果更佳。

8. 三重安全防護功能
三重安全防護功能，自動感應，沒有樣品時儀器不工作，無射線泄漏；加厚防護測試壁；配送測試防護安全罩。

9. 安全警示系統
警告指示系統，通電時綠色指示燈亮，測試時黃色輻射指示燈閃爍，防止誤操作。

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能量色散X熒光光譜儀優點：

a) 分析速度高。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。

b) X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定 。

c) 非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。

d) X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。

e) 分析精密度高。

f) 制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。

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