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早在1738年，瑞士丹尼爾伯努利以第一伯努利方程為基礎利用差壓法測量水流量。后來意大利人G.B.文丘里研究用文丘里管測量流量，并于1791年發表了研究結果。

1886年，美國人赫謝爾應用文丘里管制成了測量水流量的的實用測量裝置。

20世紀初期到中期，原有的測量原理逐漸走向成熟，人們不再將思路局限在原有的測量方法上，而是開始了新的探索。

到了30年代，又出現了探討用聲波測量液體和氣體的流速的方法聲波測量流量的方法，但到第二次世界大戰為止未獲得很大進展，直到1955年才有了應用聲循環法的馬克森流量計的問世，用于測量航空燃料的流量。

20世紀的60年代以后，測量儀表開始向精密化、小型化等方向發展。

隨著集成電路技術的迅速發展，具有鎖相環路技術的超聲（波）流量計也得到了普遍應用，微型計算機的廣泛應用，進一步提高了流量測量的能力，如激光多普勒流速計應用微型計算機后，可處理較為復雜的信號。