ASUMI技研株式會社掃描準分子發射器

掃描準分子發射器

將以172nm為主波長的準分子照射單元和掃描用載物臺、臭氧分解裝置一體化，僅用100V的電源就能簡單且安全地進行準分子表面改性實驗的裝置。 【特征】掃描用

可通過掃描用載物臺進行比以往更大面積的處理。

臭氧分解裝置一體型，無需排氣設備等

Ø 掃描準分子發射器

型號 ASM86 Excimer

發光波長 172納米

處理對象物 W86mm×D120mm以下、厚度40mm以下

照射距離調整 帶調整用實驗室千斤頂(照射距離0~40mm可變)

外形尺寸 本體: ( W)432mm×(D)510mm×(H)520.5mm (突起物除外)

概算重量 約25kg (本體20kg、照射單元4.8kg )

本體材質 SUS304/A5052P/SPCC

Ø 照射單元

燈泡制造商 濱松光子學株式會社制

型號 FLAT EXCIMER EX-86U L13129

照射強度 65mW/c㎡

照射面尺寸 86mm×40mm

準分子有效照射距離5mm以內推薦

冷卻方式 強制空冷

Ø 輸送部

桌面材質 A5052P (帶定位用狹縫)

遮光罩 PVC (防紫外線黃色)

處理速度 0.1mm/sec~120mm/sec

處理可動范圍 240毫米

Ø 其他

觸摸屏 4英寸單色觸摸屏

食譜數 20方法(處理速度、可設定照射時間)

監視器功能 當前速度、當前位置、剩馀時間帶顯示功能

排臭設備 內置臭氧催化劑(風扇強制排氣)

實用程序 AC100V 50/60Hz 400VA

ASUMI技研株式會社掃描準分子發射器

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