MEGATORR公司半導(dǎo)體工程用石英制品

MEGATORR公司半導(dǎo)體工程用石英制品

CMCP系列通用型真空計(jì)

CMCAP系列計(jì)量器是堅(jiān)固的全焊接構(gòu)造以Inconel隔膜為特征的小型經(jīng)濟(jì)型非加熱電容器。

該電子產(chǎn)品將因環(huán)境溫度變化而產(chǎn)生的漂移控制在小限度的溫度范圍。

不受氣體的影響，在所有環(huán)境下都可以測(cè)量壓力。

介紹：

電容隔膜規(guī)（CDG）是指氣體種類(lèi)不受影響，可以準(zhǔn)確測(cè)量真空壓。

Brooks公司*的傳感器技術(shù)：對(duì)US Patent No、4823603）進(jìn)行數(shù)字溫度控制，

通過(guò)組合數(shù)字校準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)了更高精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

XacTorr數(shù)字真空壓力計(jì)

數(shù)字電路裝載的電容計(jì)量器，CMX系列，由于獨(dú)自的傳感器技術(shù)US Patent No.4823603里組合數(shù)字溫度控制，數(shù)字校準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)了更高精度，長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

介紹：

電容隔膜規(guī)（CDG）是指氣體種類(lèi)不受影響，可以準(zhǔn)確測(cè)量真空壓。

Brooks公司*的傳感器技術(shù)對(duì)US Patent No、4823603進(jìn)行數(shù)字溫度控制，

通過(guò)組合數(shù)字校準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)了更高精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

非加熱插槽蝶泳閥門(mén)MR15KFVSP572,MR30ITV000SN,MR18KFVSF605

通過(guò)閥部0～90°可變來(lái)進(jìn)行真空壓力控制的節(jié)流閥。各種真空室（蝕刻裝置等）的壓力控制可以快速響應(yīng)，通過(guò)與AP系列控制器/電容計(jì)并用，可以在半導(dǎo)體等工藝中獲得高速響應(yīng)、真空壓力控制。

寬帶閥040(NW40),050(NW50),063(NW63),075(NW80)

在以往的真空壓力控制中，隨著過(guò)程的多樣化，壓力控制范圍也呈現(xiàn)出多樣化的趨勢(shì)，特別是在低真空（高壓）下壓力控制的需求增加。閥門(mén)加熱溫度也一樣，隨著過(guò)程氣體的多樣化，變得更需要溫度。為了滿(mǎn)足您的要求而開(kāi)發(fā)的是這個(gè)寬帶閥門(mén)。

寬壓力控制范圍：101.33kPa（大氣壓）～10Pa以下（760Torr～70mTorr以下）可以控制，還能加熱到200℃。

壓力控制器AP-420

AP系列是電容計(jì)量器（壓力真空計(jì)）和槽閥組合使用的壓力控制器。可以從自適應(yīng)/PID/混合動(dòng)力3種類(lèi)型中選擇控制方式，確保半導(dǎo)體/FPD/太陽(yáng)能電池等制造裝置所要求的高速應(yīng)答、高再現(xiàn)性的真空壓力控制。也可以通過(guò)前面板進(jìn)行設(shè)定，操作性非常容易。另外，由于CE標(biāo)志、RoHS對(duì)應(yīng)產(chǎn)品，被世界上所有產(chǎn)業(yè)的量產(chǎn)設(shè)備所使用

壓力控制器AP-100R

Model AP-100R將制造裝置中的真空室進(jìn)行真空排氣時(shí)，通過(guò)改變閥門(mén)電導(dǎo)，作為控制真空排氣速度的下游壓力控制裝置使用。

焊接金屬

焊接膠體作為一般真空設(shè)備、半導(dǎo)體制造裝置中可動(dòng)部分的真空保持和裝置的排氣管道而被大量使用。特別是為了保持裝置可動(dòng)部的真空，需要考慮安全性/氣密性和耐久性，使用高品質(zhì)金屬的焊接金屬。本公司的焊接金屬在ISO 9001認(rèn)證工廠(chǎng)進(jìn)行管理、制造、檢查，提供令人放心的高品質(zhì)焊接金屬。

石英制品

在半導(dǎo)體工程中使用的石英產(chǎn)品，特別要求品質(zhì)嚴(yán)格。本公司經(jīng)營(yíng)的Wonk Quartz公司生產(chǎn)的石英制品是ISO 9002認(rèn)證工廠(chǎng)生產(chǎn)的高質(zhì)量、高精度的產(chǎn)品。備齊各種石英。

逆流防止閥M-NW50,M-NW30H,M-NW40H

安裝在真空排氣泵上部，是在排氣泵緊急停止時(shí)切斷排氣線(xiàn)的部件。在成膜、剝離過(guò)程中產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物和粉塵在Chamber內(nèi)和排氣系統(tǒng)中累積過(guò)程中如果泵緊急停止的話(huà)，會(huì)引起Chamber內(nèi)粉塵的飛揚(yáng)和管道等造成的Chamber內(nèi)產(chǎn)品污染。通過(guò)使用Chamber防護(hù)，在停止泵時(shí)，通過(guò)瞬間切斷排氣系統(tǒng)，防止粉塵逆流，保護(hù)產(chǎn)品不受污染。

真空計(jì)用電源顯示器MS-1S,MS-2S

MS-1/MS-2S是Brooks公司生產(chǎn)的電容表配備了SetPoint繼電器的顯示器和電源供應(yīng)單元。可以連接一臺(tái)或兩臺(tái)電容表。內(nèi)置2個(gè)或4個(gè)獨(dú)立動(dòng)作的定點(diǎn)繼電器。連接帶有溫度支架輸出的電容表時(shí)，可以顯示溫度支架。