顯微輪廓儀的結構簡介
2021-02-03標簽：輪廓儀
顯微輪廓儀結構-檢查光潔度用光學顯微鏡新改進的干涉輪廓儀有哪些特點顯微干涉輪廓儀結構的主要要求，是放被檢零件的工作臺和干涉頭聯結的剛性要好，必須保證干涉條紋對振動的靈敏度為最小。在調整結構方面，三個相互垂直方向精密移動被檢表面13和繞其兩軸轉動，要求有很靈巧的機構設計。
另外，為了使兩路相干光束的光程相等，沿光軸方向精密移動物鏡和棱鏡也值得注意。檢查零件內表面光潔度的顯微干涉輪廓儀在顯微干涉輪廓儀里，狹縫成像在被檢表面上,這就使我們不僅可以檢查有不規則加工痕跡的表面，而且便于圓柱表面的檢查。實際上如果狹縫像平行于圓柱母線，則儀器視場中看到直條紋，其寬度是不變的，與圓柱直徑無關。
特別有價值的，是顯微干涉輪廓儀還可以用來檢查光潔度等級高的內圓柱表面，過去，沒有檢查內回柱表而光潔度的儀器，只能對主要零件進行抽檢，先要把它切開，然后在干涉顯微鏡上檢驗檢查內表面的顯微干涉輪廓儀,用三物鏡系統(即用于干涉指示儀中的系統)。
這種系統可以采用任意高倍數的顯微物鏡，此外可避免一支光束倒轉顯微干涉輪廓儀的缺點，是視場照度明顯地比干涉顯微鏡低得多，因為它不能用在兩個方向都擴展的光源，而采用窄的發光狹縫。除此以外，又因采用兩面鏡，使儀器的制造和調整變得復雜。因此，顯微干涉輪廓儀不能夠取代干涉顯微鏡，檢查有規則痕跡的表面，采用干涉顯微鏡還比較合適。
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