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橢偏儀

橢偏儀[1-2]是一種用于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量儀器。由于測量精度高,適用于超薄膜,與樣品非接觸,對樣品沒有破壞且不需要真空,使得橢偏儀成為一種吸引力的測量儀器。中文名橢偏儀特點測量精度高光譜范圍深紫外的142nm到紅外33um可選應用領域半導體、微電子、MEMS等1工作原理下圖給出了橢偏儀的基本光學物理結構。已知入射光的偏振態,偏振光在樣品表面被反射,測量得到反射光偏振態(幅度和相位),計算或擬合出材料的屬性。入射光束(線偏振光)的電場可以在兩個垂直平面上分解為矢量元

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橢偏儀

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  • 分光橢偏儀SEMILAB在線光

    分光橢偏儀SEMILAB在線光譜橢偏儀SE-3000
    在線光譜橢偏儀SE-3000,在線光譜橢偏儀μSE-2500,分光橢偏儀SE-2100 (旋轉補償器型),分光橢偏儀SE-2000 (旋轉補償器型),分光橢偏儀SE-2000 (旋轉補償器型),激光橢圓儀LE-5100
  • 教學激光橢偏儀

    BX-G105教學激光橢偏儀是基于消光法(或稱“零橢偏”)測量原理,針對納米薄膜厚度測量領域推出的一款自動測量型教學儀器。BX-G105儀器適用于納米薄膜的厚度測量,以及納米薄膜的厚度和折射率同時測量。教學激光橢偏儀還可用于同時測量塊狀材料(如,金屬、半導體、介質)的折射率n和消光系數k。
  • 納米光伏專用激光橢偏儀

    BX-G104納米光伏專用激光橢偏儀針對光伏太陽能電池推出的專用型多入射角激光橢偏儀。BX-G104用于測量絨面單晶硅或多晶硅太陽電池表面減反膜鍍層的厚度以及在632.8nm下的折射率n。也可測量光滑平面材料上的單層或多層納米薄膜的膜層厚度,以及在632.8nm下折射率n和消光系數k。 BX-G104融合多項量拓科技技術,采用單多晶一體化樣品臺技術,兼容測量單晶和多晶太陽電池樣品,并實現二者的瞬間
  • 激光橢偏儀

    BX-G103激光橢偏儀可在單入射角度或多入射角度下對樣品進行準確測量。可用于測量單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數k;也可用于同時測量塊狀材料的折射率n和消光系數k;亦可用于實時測量納米薄膜動態生長中膜層的厚度、折射率n和消光系數k。多入射角度設計實現了納米薄膜的絕對厚度測量。
  • 紫外廣義光譜橢偏儀

    BX-G102紫外廣義光譜橢偏儀BX-G102紫外廣義光譜橢偏儀針對科研和工業環境推出的高精度快速攝譜型廣義光譜橢偏儀,波長范圍覆蓋紫外、可見到紅外。 廣義光譜橢偏儀采用寬帶超消色差補償器、利用步進補償器掃描測量采樣模式、基于高靈敏度探測單元和光譜橢偏儀分析軟件,用于測量納米薄膜樣品、塊狀材料和各向異性材料。
  • 高精度靈敏光譜橢偏儀

    BX-G101高精度靈敏光譜橢偏儀針對科研和工業環境中薄膜測量推出的高精度快速攝譜型光譜橢偏儀,波長范圍覆蓋紫外、可見到紅外。 光譜橢偏儀基于高靈敏度光譜探測單元和光譜橢偏儀分析軟件,用于測量單層和多層納米薄膜的層構參數(如,厚度)和物理參數(如,折射率n、消光系數k,或介電函數ε1和ε2),也可用于測量塊狀材料的光學性質。
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