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儀表網(wǎng)>全部分類(lèi) >測(cè)量/計(jì)量 >光學(xué)測(cè)量 >橢偏儀 更新時(shí)間:2025-04-09 返回產(chǎn)品中心
橢偏儀

橢偏儀[1-2]是一種用于探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。由于測(cè)量精度高,適用于超薄膜,與樣品非接觸,對(duì)樣品沒(méi)有破壞且不需要真空,使得橢偏儀成為一種吸引力的測(cè)量?jī)x器。中文名橢偏儀特點(diǎn)測(cè)量精度高光譜范圍深紫外的142nm到紅外33um可選應(yīng)用領(lǐng)域半導(dǎo)體、微電子、MEMS等1工作原理下圖給出了橢偏儀的基本光學(xué)物理結(jié)構(gòu)。已知入射光的偏振態(tài),偏振光在樣品表面被反射,測(cè)量得到反射光偏振態(tài)(幅度和相位),計(jì)算或擬合出材料的屬性。入射光束(線偏振光)的電場(chǎng)可以在兩個(gè)垂直平面上分解為矢量元

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    BX-G105教學(xué)激光橢偏儀是基于消光法(或稱(chēng)“零橢偏”)測(cè)量原理,針對(duì)納米薄膜厚度測(cè)量領(lǐng)域推出的一款自動(dòng)測(cè)量型教學(xué)儀器。BX-G105儀器適用于納米薄膜的厚度測(cè)量,以及納米薄膜的厚度和折射率同時(shí)測(cè)量。教學(xué)激光橢偏儀還可用于同時(shí)測(cè)量塊狀材料(如,金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì))的折射率n和消光系數(shù)k。
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    BX-G104納米光伏專(zhuān)用激光橢偏儀針對(duì)光伏太陽(yáng)能電池推出的專(zhuān)用型多入射角激光橢偏儀。BX-G104用于測(cè)量絨面單晶硅或多晶硅太陽(yáng)電池表面減反膜鍍層的厚度以及在632.8nm下的折射率n。也可測(cè)量光滑平面材料上的單層或多層納米薄膜的膜層厚度,以及在632.8nm下折射率n和消光系數(shù)k。 BX-G104融合多項(xiàng)量拓科技技術(shù),采用單多晶一體化樣品臺(tái)技術(shù),兼容測(cè)量單晶和多晶太陽(yáng)電池樣品,并實(shí)現(xiàn)二者的瞬間
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